電子部品製造 開発装置
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真空リフロー装置 SRO 
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| ドイツ ： ATV （エーティーブイ テクノロジー)社製 |
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| SiC高温パワーモジュール/デバイス開発に最適 |
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X線写真比較例
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| セラミック基板上にSiチップをリフローした時のはんだ面 |
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第41回インターネプコンジャパン に
出展しました！
2012年1月18日［水］〜20日［金］
開場時間：10：00〜18：00
（20日［金］のみ17：00終了）
会場：東京ビッグサイト
ブース番号：東6ホール 東28-22
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グローブボックス と 有機溶媒精製装置
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| アメリカ ： Innovative Technology, Inc.（イノベーティブ・テクノロジー社) |
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イノベーティブテクノロジー社は、不活性ガス循環精製装置付きグローブボックスシステムと有機溶媒精製装置のマーケットリーダーとして、1981年から設計と製造を行なって参りました。
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人工筋肉、ナノセンサー・ナノアクチュエーター
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| アメリカ ： エンヴァイロンメンタルロボット社製 |
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| 高分子金属複合材料（IPMC)製でナノセンサー・ナノアクチュエーター・高分子センサー・高分子トランスデューサーの研究開発用途でご利用いただけます。イオン高分子金属複合人工筋肉の学習にも最適です。(高分子サンプルを曲げると2-4mVの電圧が生じます。) |
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| 高分子サンプルは、空気/極性液体環境/水/生物組織/イオン液体環境/でセンサー/変換器/アクチュエーターとして機能します。空気中でアクチュエーターとして使用し、片側を先端運動させると3-5mm/Volt の電圧が生じます。サンプル標準寸法は、1cmx4cmx0.2cmです。また、電圧を与えると約10-20mの先端運動をするサンプルもあります。 |
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真空リフロー装置 SRO
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| ドイツ ： ATV （エーティーブイ テクノロジー)社製 |
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| SiC高温パワーモジュール/デバイス開発に最適 |
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| X線写真比較例 |
| セラミック基板上にSiチップをリフローした時のはんだ面 |
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LTCCシンタリングプレス
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| ドイツ ： ATV （エーティーブイ テクノロジー)社製 |
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| LTCC用加圧焼成炉 |
LTCC向け新プロセスPAS（無加圧無収縮焼成法）、PLAS（加圧無収縮焼成法）が可能
プレス圧力最大50kN 最小100N±0.5％
最高1000℃±0.2℃ 急速昇温1000℃15分以内 急冷100℃以下50分以内
X/Y方向の収縮がPLASで0.3％、PASで0.0％まで制御可能です。 |
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セミコン用 多機能小型真空炉（PEO)
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| ドイツ ： ATV （エーティーブイ テクノロジー)社製 |
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ウエハー多機能処理用 小型真空加熱炉
SiO2, TiO など各種コーティング
N2，Ar，H2，真空下でのアニーリング |
| 主な特徴 |
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小型、省エネ |
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クオーツ製 真空加熱炉 |
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高速加熱・冷却が可能 |
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加熱温度 1150℃ |
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プロセスコントロールによる温度制御が可能 |
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流量制御付ガス供給ライン |
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