シングルウェハの直接加熱により50℃/sec可能
検視窓付きで監視が容易
ステップごとに時間・温度・ガスライン・真空度・加圧度を選択、セットアップ可能
蟻酸により酸化皮膜を還元
加熱エリア313mm×240mmまで対応
ウィンドウズ７まで対応確認済
ダイボンディング
ウェハレベルパッケージ
非鉄金属加工
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