各種製造ラインに最適な産業機械を提供するトータルソリューション・パートナー

不活性ガス循環精製装置付きグローブボックス

材料をボックスに入れる前に、ボックス内の酸素・濃度を1ppmにしておく必要があります。システムを敷設した直後の場合には、ボックスのパージから始めます。システムの上部に搭載されているパージバルブは、最初にシステムを立ち上げる時など　ボックス内の空気を不活性ガスに置換する時に使用します。パージバルブを開いてボックス内の空気をパージしながら、ボックスに不活性ガスを送り込むことでボックス内を不活性ガスに置換することができます。パージが終わったらガスを循環精製して酸素・水分濃度を1ppm以下にします。　ガス循環精製装置は、酸素・水分を吸着するための触媒が入ったカラムを内蔵しています。カラムはボックスと２つのガス配管（INとOUT）を介して接続されています。ブロアーをオンにすることでボックス内のガスはクローズループで循環し、ガスがカラムを通過する時に酸素・水分は吸着除去され、ボックス内は1ppm以下で平衡になります。　取扱う材料は、最初にアンテチャンバーに入れます。次にアンテチャンバーの扉を閉じてチャンバー内を真空引きし、不活性ガスを充填します。真空引き→ガス充填を約3回繰り返しチャンバー内のガスを確実に置換します。置換後にボックス側にあるチャンバーの扉を開いて材料をボックス内に入れます。逆のプロセスで材料をボックスの外に取り出すことができます。このプロセスで、材料をボックス内に挿入・取り出す時もボックス内は外気からしっかり遮断されます。