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大気圧低温プラズマ処理装置

大気圧プラズマコーティングシステム (フランス : AcXys社製)

P_ULS&gene.jpg

P_module ulcoat.jpg

 
通常のプラズマ処理装置ULS(スポットプラズマ)に特殊コーティング装置UL−Coatを組み合わせることで今まで真空下で行っていたSi系の蒸着を大気圧で行えるようになりました。
 

● 大気圧プラズマ処理装置ULS(写真上)

出力固定式スポットタイプのプラズマ処理装置、小型ノズルで軽量なのが特徴で狭い場所の処理に最適です。

 

 

 

 

 

●コーティング装置UL-Coat(写真下)

内蔵ポンプによりコーティング液を細かな粒状にして定量的にプラズマへ供給します。

この二つの組み合わせで大気圧コーティングシステムを構成します。
 
 
 

特長

画像 膜厚はノズルの送り速度、高さ、処理回数に応じて数50〜1000ナノで調整可能。
画像 使用するガスの種類を変えることで複数の膜と特性を付与させることが可能。
bg01.jpg 均一性はおよそ±2%
コーティングの主な用途
ガスバリア膜、腐食防止膜、摩擦係数低減、潤滑性向上、撥水膜、金型離型性etc 
  コーティング写真
Coating.JPG

応用例 : 表面潤滑性向上

 

rubber.jpg

  rubber2.jpg

 ゴム表面にSiO2膜を乗せることで表面の潤滑性(滑りやすさ)を向上。

左の写真は処理前。指のあとが残っている(引っかかりあり)

右の写真は処理後。指で押しても後が残らない。

 
 

All-In-Oneコーティング装置 UL-SCAN

P_ULScan.jpg

  logo

 

ULSにUL-Coatそしてロボットを内蔵したオールインワンモデル。

タッチパネルの操作でロボットのティーチングからコーティング作業までを行えます。

 

UL-SCANの仕様は希望によりカスタマイズ可能。

例)ロボット可動軸(X,Y,Zの3軸から単軸まで) 

  ガスの種類:希望する膜特性に応じてマスフローの追加が可能。

 

基本仕様: 230/400V 50/60Hz 1200VA

 

 

 
 
 
 
 
 
     
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