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ALD グローブボックスシステム

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ALD グローブボックスシステム

ALDは、Atomic Layer Deposition・原子層堆積法という蒸着技術で、基材表面に製膜する技術の一つです。原子層レベルで各層制御が可能で均一性が高い製膜を行うことが出来ます。

下の写真のグローブボックスには、ボックス左側にアンテチャンバー(パスボックス)が付いています。日常の運転では、ボックス内外への基板の出し入れは、アンテチャンバーを介して操作します。手順は、まず基板をアンテチャンバーに入れます。アンテチャンバーには真空ポンプによる真空引きを行うためのSUS配管と不活性ガスによる充填用のSUS配管が接続されており、アンテチャンバーに基板をいれた後チャンバーのドアを閉めます。アンテチャンバーは高密閉度・高真空到達度を有しており、チャンバー内を真空引き・ガス充填を繰り返してチャンバー内を高純度不活性ガスに置換することができます。置換完了後にアンテチャンバーの内扉を開けて、基板をボックスに入れます。この操作により、ボックス内に空気を入れることなく基板をボックスへ挿入することができ、ボックス内は常に低露点・低酸素濃度(1ppm以下)に保たれます。基板をボックスから取り出すときも逆の操作を行います。蒸着を行う前に、基板の表面をボックスの不活性ガス雰囲気内で適切に処理してから、ボックス右側に接続しているALD装置へ挿入します。蒸着後の基板は、再びボックス内へ取り出すことができ、この操作は、全て不活性ガス雰囲気内で酸素・水分フリーで行うことが出来ます。

ALD_gb2.jpg

大きいラージアンテチャンバーは標準装備されており、手前のミニアンテチャンバーはオプション品として出荷時に接続した状態で供給が出来ます。

ボックス左下に不活性ガス循環精製装置が接続しており、ボックスにINとOUTの2つの配管で接続されています。ガス循環精製装置には酸素・水分吸着用の特別な触媒とブロアーが搭載されており、配管を介してボックス内の雰囲気を循環精製することで、ボックス内を酸素・水分フリーの雰囲気を保持することが出来ます。精製器単体の能力も国内のユーザー様から高く評価されています(参考:不活性ガス循環精製装置をみる)。基本操作は、写真のボックス左上に搭載されているタッチパネルで操作を行います。パネル上で酸素・水分濃度・ボックス内圧をリアルタイムで表示します。エラー履歴の管理や内圧の設定・ガス循環精製装置の自動運転もパネル上で操作します。

この他、用途により、様々なオプション品をグローブボックスへ接続して納入することができます。

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グローブボックスの用途・事例をみる

Inertとグローブボックスの概要をみる 

☆Innovative Technology Inc は、2015年に、ブランド再構築のため ”Inert” という新ブランドを立上げました。 ☆

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