非接触超音波浮上搬送を検査工程へ導入 │ 超音波でウェーハや基板を非接触浮上搬送しながら外観検査する唯一無二のコンベヤです。エア浮上テーブルのようにエアをブローしません。静電チャックのようなマグネットでもありません。スクイーズ膜浮上の原理で浮上したウェーハは、無振動で搬送面を非接触浮上します。異物の付着を防止して、不良率削減・歩留まり向上に貢献します。

2016/05/24

唯一無二の非接触搬送技術です。
超音波でウェーハや基板を非接触浮上搬送しながら外観検査します

　目　　次

|| 超音波による浮上の原理
|| 非接触浮上搬送を検査工程に導入するメリット
|| 超音波による非接触浮上のメリット
|| 写真で解説
|| 動画をみる
|| エア浮上テーブルとの比較
|| ゴミ・異物対策としての非接触超音波浮上テーブル
|| 主な用途
|| 関連情報

取扱商社：㈱ケー・ブラッシュ商会

　

　

超音波による浮上の原理

基板を搬送する搬送面には、ソノトロードというパーツを使用しています。超音波による振動を生成するための部品です。ソノトロードの振動によるエネルギーを、ソノトロードと接する空気やガスに伝えることができます。

ソノトロードは、平坦なプレート状で、高周波振動して空気や雰囲気ガスを圧縮・拡散を行います。

装置の電源をONにすると、ソノトロード（搬送面）は高周波で微振動します。ソノトロードの表面には超音波による周期的な圧縮と圧縮解除が行われます。

そして、基板とソノトロードの間には、圧縮された薄い空気の膜が形成されます（スクイーズ膜）。これによりウェーハやガラス基板は振動することなく無摩擦で非常に安定した状態で浮上します。これがスクイーズ膜効果による非接触浮上です。

スクイーズ膜効果で浮上しているワークは、無摩擦・非接触で安定して浮上します。

浮上したワークの横方向の移動には、コンベヤに設置しているガイドを使い、ワークを移動させます。

コンベヤ搬送中は、ワークの上面下面は非接触です。

超音波による非接触浮上搬送を検査工程へ導入するメリット

検査工程へ導入する時には、ソノトロード（搬送面）に透明体の部材を使用します。これにより、非接触浮上搬送時に、透明な搬送面の下から基板の裏面が見えます。

搬送面の下にカメラを設置すれば、搬送面上を非接触で流れる基板やウェーハの裏面をカメラで外観検査することができます。

同時に表面も上面から外観検査することもできます。

このプロセスでは、検査のために基板やウェーハを反転させる工程が不要になります。検査工程と反転工程をワンプロセスに集約することができます。

また、検査プロセスで基板やウェーハは静止せず、インラインで外観検査を行うことができるので、生産性の向上・生産設備の省力化につながります。

超音波による非接触浮上のメリット

基板を非接触搬送しながら、表面・裏面の外観検査をすることができます。

検査工程と反転工程をワンプロセスに集約することができます。

繊細な製品を非接触搬送することにより微小な傷やクラックを防止！

繊細な製品を非接触搬送することにより異物の付着を防止！

非接触浮上に、工場エアやクリーンエアは不要です。ユーティリティーは電源のみ。

搬送面からエアブロー・窒素ブローしません。クリーン環境に最適です。

圧縮エア源からの汚染リスクがありません。

圧縮エアのメンテナンスが不要。

写真で解説

写真1：非接触超音波浮上搬送装置で搬送
　　　基材は、c-Si-PV ウェーハです。

写真1の透明なパーツが、ソノトロード（搬送面）です。ソノトロードの上の四角いウェーハは非接触で浮上搬送しています。

透明なソノトロードの下に、外観検査用カメラを設置しています。

写真2：ソノトロード（搬送面）の下に設置した外観検査用カメラ

写真3：ソノトロード（搬送面）の下に設置した外観検査用カメラ

非接触浮上搬送中の基板は高低差が安定しています。カメラは高精度で外観を検査することができます。

動画で解説

動画：非接触超音波浮上搬送装置で搬送
　　　基材は、c-Si-PV ウェーハです。

写真1と同じラインの動画です。c-Si-PV ウェーハが、透明なソノトロードの下に設置されています。ウェーハが通過するタイミングでカメラがピカピカ撮影している様子が動画でご視聴いただくことができます。

c-Si-PV ウェーハは、非接触で浮上しています。

処理量は、ウェーハ 3枚/秒、10,800枚/時間です。

非接触浮上搬送中の基板は高低差が安定しています。カメラは高精度で外観を検査することができます。

エア浮上テーブルとの比較

超音波による非接触浮上は、テーブルからエアブローしていません。

超音波による非接触浮上は、工場エアやコンプレッサーエアは不要です。

超音波による非接触浮上は、圧縮エアのオイルフィルターやミストトラップのメンテナンスは不要です。

超音波による非接触浮上は、エアブローからの汚染リスクが皆無です。

超音波による非接触浮上は、テーブルからエアーブローしないので、クリーン環境に最適です。

超音波による非接触浮上のユーティリティーは、電源のみ。

超音波による非接触浮上は、基板は無振動で非常に高い安定性で浮上することができます。

超音波による非接触浮上は、極薄で破損しやすいウエハーを高い歩留まりで非接触浮上搬送することができます。

ゴミ・異物対策としての非接触超音波浮上テーブル

非接触浮上搬送は、基板・ウェーハとの接触に起因する異物付着を解消することができます。

機械的なグリッパーやボールベアリングによる搬送と異なり、基板の表面・裏面は非接触です。基板の異物付着を回避して次工程へ部材を持ち込むことができます。

テーブルはエアブローしないので、エア源からの汚染リスクは皆無です。

次工程が加工プロセスであれば、加工時に付着異物による不良を回避することにつながります。次工程が外観検査であれば、付着異物による外観検査装置の誤作動を防止することにつながり、歩留まり向上につながります。

非接触超音波浮上コンベヤは、付着異物対策として大きなメリットがあります。クリーン環境での基材のハンドリングに最適な技術です。