LEVIウェーハグリッパー
LEVIウェーハグリッパー
ハンドの上でウェーハを非接触浮上したまま保持するエンドエフェクタです。
メーカー
ZS-Handling GmbH
目的・用途
静電気対策
異物対策
非接触搬送
業界
商品説明
LEVIウェーハグリッパーは、ハンドの上でウェーハを非接触浮上したまま保持するエンドエフェクタです。
ハンドは、超音波で微振動しており、ハンドとウェーハの間に加圧したエアフィルム・ガスフィルムを形成し、非接触浮上させることが出来ます。これをスクイーズ膜浮上といいます。
スクイーズ膜浮上したウェーハは、非常に安定して浮上します。薄く破損しやすい繊細なウェーハを、破損率を下げて非接触で搬送するのに最適です。
超音波（スクイーズ膜浮上効果）による浮上は、ハンドからエアーブローしません。生産環境中の空気やガスを加圧して気体の膜を形成させる原理です。半導体生産工場のクリーンルームに、設計気流を乱す無用な気流を発生させることはありません。周辺へパーティクルの飛散リスクがなく、エアー汚染のリスクを排除しています。
ウェーハに加わる力は分散しています。一カ所に極度に負荷をかけないので、ウェーハの変形や破損リスクを回避しています。
また、接触による微細な異物が転写するリスクを回避して、ウェーハの清浄度を保持して移載することが出来ます。
ウェーハの落下防止のためピンのサイドストップが４コあります。サイドストップで、ウェーハ端面は接触します。
クリーンルームで、不良率削減・良品率向上・歩留まり向上に貢献します。
商品特長
超音波による非接触浮上には様々なメリットがあります
◆ウェーハを非接触で移載するので微小な傷やクラックを防止！
◆ウェーハの上下面を非接触保持することにより異物の転写を防止！
◆スクイーズ膜浮上効果は、ウェーハに加わる力を分散できるので、ウェーハの変形・破損リスクが低い！
◆エアーブローしないのでクリーンルームの設計気流を乱さない！
◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが無い！
◆ハンドの清掃・メンテナンスは簡単！
◆超音波システムは実用上メンテナンスフリー！
◆低ランニングコスト
◆クリーンルーム・ドライルーム・窒素・アルゴン、様々な雰囲気ガス環境で使用可能！
シングルハンド
＜共通スペック＞
運転電圧：24VDC
サイドストップ：4カ所（2コは固定、2コはエア駆動式(-0.05～+0.3MPa)）
ハンド材質：選択可（石英ガラス、陽極酸化アルミ、テフロンコートアルミ）
消費電力：＜50W
運転環境温度：20℃～40℃
運転環境湿度：20～50％
周波数：35Hz
保護クラス：IP67
＜ラインナップ＞
◆LEVIウェーハグリッパー/φ150ウェーハ用シングルハンド
型式：WG-BH-D0150-Gl-PS
型番：15-122-000001
高さ（a）：112mm
長さ（b）：279mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：69mm
ウェーハを含む幅（e）：150
ハンド厚さ（ピンを含む）：3.6mm
重量：～1.800g
◆LEVIウェーハグリッパー/φ200ウェーハ用シングルハンド
型式：WG-BH-D0200-Gl-PS
型番：15-122-000002
高さ（a）：112mm
長さ（b）：329mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：69mm
ウェーハを含む幅（e）：200
ハンド厚さ（ピンを含む）：3.6mm
重量：～1.830g
◆LEVIウェーハグリッパー/φ300ウェーハ用シングルハンド
型式：WG-BH-D0300-Gl-PS
型番：15-122-000003
高さ（a）：112mm
長さ（b）：434mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：85mm
ウェーハを含む幅（e）：300
ハンド厚さ（ピンを含む）：5.3mm
重量：～2.050g
ダブルハンド
＜共通スペック＞
運転電圧：24VDC
サイドストップ：8カ所（4コは固定、4コはエア駆動式(-0.05～+0.3MPa)）
ハンド材質：選択可（石英ガラス、陽極酸化アルミ、テフロンコートアルミ）
消費電力：＜50W
運転環境温度：20℃～40℃
運転環境湿度：20～50％
周波数：35Hz
保護クラス：IP67
＜ラインナップ＞
◆LEVIウェーハグリッパー/φ150ウェーハ用ダブルハンド
型式：WG-BH-D0150D0150-Gl-PS
型番：15-122-000004
高さ（a）：112mm
長さ（b）：474mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：69mm
ウェーハを含む幅（e）：150/150
ハンド厚さ（ピンを含む）：3.6mm
重量：～2.000g
◆LEVIウェーハグリッパー/φ200ウェーハ用ダブルハンド
型式：WG-BH-D0200D0200-Gl-PS
型番：15-122-000005
高さ（a）：112mm
長さ（b）：574mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：69mm
ウェーハを含む幅（e）：200/200
ハンド厚さ（ピンを含む）：3.6mm
重量：～2.050g
◆LEVIウェーハグリッパー/φ300ウェーハ用ダブルハンド
型式：WG-BH-D0300D0300-Gl-PS
型番：15-122-000006
高さ（a）：112mm
長さ（b）：784mm
幅（c）：185mm
ハンド幅（d）：85mm
ウェーハを含む幅（e）：300/300
ハンド厚さ（ピンを含む）：5.3mm
重量：～2.400g
主なウェーハの材質
◆シリコン
◆SiC
◆GaP
◆GaAs
◆ガラス
◆サファイア
＜特注＞ウェーハを上から非接触吸着
ウェーハを上から非接触吸着する装置は特注です。設計・シュミレーションから製作まで行います。
トレーtoトレー、シートtoシート、様々な工程でウェーハを非接触で移載するハンドになります。
ベルヌーイチャックとは全く異なる原理です。エアーブローせずに非接触吸着します。
エアーブローによるパーティクルの飛散を回避します。ウェーハをエアで汚染するリスクを回避します。
ウェーハに加わる力を分散してピックアップ！薄く繊細なウェーハの破損率を最小限にし、歩留まり改善に貢献します。
商品に関連する動画
超音波のハンドが非接触でウエハキャリアから取出・収納！
◆狭いカセットの間にパドルを挿入
◆ウェーハを非接触浮上
◆ウェーハを非接触でカセットから出し入れ
ウェーハを超音波で非接触浮上！
◆透明なパドル上にウェーハが非接触浮上
◆エアーブローしてません！
◆超音波で「エアフィルム」を形成・非接触浮上！
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