超音波浮上LEVIテーブル

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超音波浮上LEVIテーブル

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基板関連

超音波浮上テーブルは、ウェーハやガラス基板のようなフラットな基材を非接触浮上・搬送するためのテーブルです。

メーカー

ZS-Handling GmbH

目的・用途

非接触搬送

電池の製造

業界

自動車・搬送
電機機器
研究開発
印刷・包装
電子部品・半導体
メディカル
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商品説明

テーブルは、超音波で微振動しており、テーブルとガラス基板の間に加圧したエアフィルム・ガスフィルムを形成し、非接触浮上させることが出来ます。これをスクイーズ膜浮上といいます。

スクイーズ膜浮上したガラス基板は、非常に安定して浮上します。微小な付着異物や擦り傷等、外観にシビアなガラス基板を非接触で搬送したい！という用途にお応えできる非接触浮上技術です。

超音波（スクイーズ膜浮上効果）による浮上は、テーブルからエアーブローしません。生産環境中の空気やガスを加圧して気体の膜を形成させる原理です。クリーンルームの設計気流を乱す無用なエア―ブローを回避します。周辺へパーティクルの飛散リスクを低減し、エアー汚染のリスクが極めて低くなります。

ガラス基板に加わる力は分散しています。一カ所に極度に負荷をかけないので、薄く大面積の変形しやすいガラス基板の破損リスクを低減して非接触浮上します。

ガラス基板とテーブルが接触して微細な異物が転写するリスクを回避します。ガラス基板の清浄度を保持して搬送することが出来ます。

クリーンルームで、ガラス基板の不良率削減・良品率向上・歩留まり向上に貢献します。

◆ガラス基板を非接触浮上！接触による微小な傷やクラックを防止！

◆ガラス基板の上下面を非接触保持することにより異物の転写を防止！

◆スクイーズ膜浮上効果は、ガラス基板に加わる力を分散できるので、ガラス基板の変形・破損リスクが低い！

◆クリーンルームの設計気流を乱すエアーブロー無し！

◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが極めて低い！

◆テーブルの清掃・メンテナンスは簡単！

◆超音波システムは実用上メンテナンスフリー！

◆低ランニングコスト

◆クリーンルーム・ドライルーム・窒素・アルゴン、様々な雰囲気ガス環境で使用可能！

商品特長

超音波浮上LEVIテーブルのデータシート

◆超音波浮上テーブル

型式：FT-BH-LXXXX(長さ)WXXXX（幅)-XX（材質）-WS
型番：15-222-XXXXXX
寸法：1000x1000x135?(長さx幅x高さ)
(標準の幅は、300?～1000?です。他のサイズは別途お問合せ下さい)
テーブルの厚さ：約15?
脚の高さ：約120?(高さ調整可)
脚の数：4コ
供給電源：230VAC
振動板の材質：陽極酸化アルミニウム、テフロンコートアルミニウム、ステンレススチール、から選択可
消費電力：最大.200W
運転環境温度：＋5℃～45℃
運転環境湿度：20％～50％

別置き付属品：制御用ボックス・超音波ケーブル


＜寸法＞

オプション

■周波数モニタリング及び制御機能 温度センサー1個含む（0.25m2以上のテーブルに推奨）

■冷却システム

■加熱システム

■を平滑化するため、テーブルに吸引機能

■基材を横移動するためのドライブ機構

■画像検査または切断機設置用にテーブルに穴や窪みを加工

■UPS(無停電電源装置)

超音波浮上LEVIテーブルのカスタム

写真：ガラス基板を非接触浮上搬送＋外観検査

浮上できる主な基材

◆ガラス基板

◆パネル

◆ウェーハ

◆箔

◆電極・極板

◆その他、表面が平滑な基板

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