超音波浮上LEVIテーブル
超音波浮上LEVIテーブル
◆ウェーハやガラス基板のようなフラットな基材を非接触浮上・搬送するためのテーブルです。
◆エアーブローせずに浮上します
◆ウェーハ・ガラス基板の擦り傷防止
◆超低消費電力・超低ランニングコスト
メーカー
ZS-Handling GmbH
目的・用途
静電気対策
異物対策
非接触搬送
業界
商品説明
テーブルは、超音波で微振動しており、テーブルとガラス基板の間に加圧したエアフィルム・ガスフィルムを形成し、非接触浮上させることが出来ます。これをスクイーズ膜浮上といいます。
スクイーズ膜浮上したガラス基板は、非常に安定して浮上します。微小な付着異物や擦り傷等、外観にシビアなガラス基板を非接触で搬送したい！という用途にお応えできる非接触浮上技術です。
超音波（スクイーズ膜浮上効果）による浮上は、テーブルからエアーブローしません。生産環境中の空気やガスを加圧して気体の膜を形成させる原理です。クリーンルームの設計気流を乱す無用なエアーブローを回避します。周辺へパーティクルの飛散リスクを低減し、エアー汚染のリスクが極めて低くなります。
ガラス基板に加わる力は分散しています。一カ所に極度に負荷をかけないので、薄く大面積の変形しやすいガラス基板の破損リスクを低減して非接触浮上します。
ガラス基板とテーブルが接触して微細な異物が転写するリスクを回避します。ガラス基板の清浄度を保持して搬送することが出来ます。
クリーンルームで、ガラス基板の不良率削減・良品率向上・歩留まり向上に貢献します。
商品特長
超音波浮上LEVIテーブルのデータシート
◆超音波浮上テーブル
型式：FT-BH-LXXXX(長さ)WXXXX（幅)-XX（材質）-WS
型番：15-222-XXXXXX
寸法：ご希望の「長さx幅」をもとにカスタムで製作
(標準の幅は、300mm～1000mmです。他のサイズは別途お問合せ下さい)
供給電源：230VAC
振動板の材質：陽極酸化アルミニウム、テフロンコートアルミニウム、ステンレススチール、フロートガラスから選択可
消費電力：200W前後(システムのサイズによる)
運転環境温度：＋5℃～45℃
運転環境湿度：20％～50％
別置き付属品：制御用ボックス・超音波ケーブル
※ガラス基板を横移動するためのドライブ機構・ベルト機構・搬送系は含まれておりません
vs.エアーブロー式 浮上テーブルとの比較
エアー浮上タイプのテーブルは、圧縮エア・工場エアを接続して、ポーラス状の穴からエアーブローして基板を浮上させる装置です。そのため、エアーブローすることに伴うデメリットがあります。例えば、エアーを吹くことで、パーティクル・微粒子を飛散させる原因になります。これは、クリーンルームへの用途では大きな問題です。また、エアーの清浄度により汚染のリスクが伴います。これは、清浄度の高い製品を搬送する用途では歩留まり低下を引き起こす原因になります。
一方、LEVIテーブルは エアーをブローしません。これによりエアーを吹かないメリットを享受することが出来ます。あくまで生産環境中のクリーンエアまたはガスを加圧してエアフィルムを形成し これを「浮上」に適用しています。エアーを吹き出すことによる汚染・コンタミ転写リスクを回避して、基材の清浄度を保持しながら搬送することができます。これは、歩留まり向上につながる大きなメリットです。
利 点
◆ガラス基板・枚葉シートを非接触浮上！接触による微小な傷やクラックを防止！
◆ガラス基板・枚葉シートの上下面を非接触保持することにより異物の転写を防止！
◆スクイーズ膜浮上効果は、ガラス基板・枚葉シートに加わる力を分散できるので、ガラス基板の変形・破損リスクが低い！
◆クリーンルームの設計気流を乱すエアーブロー無し！
◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが極めて低い！
◆テーブルの清掃・メンテナンスは簡単！
◆超音波システムは実用上メンテナンスフリー！
◆低ランニングコスト
◆クリーンルーム・ドライルーム・窒素・アルゴン、様々な雰囲気ガス環境で使用可能！
導入事例を解説！
＜枚葉薄板ガラス用画像検査装置のステージ＞
薄板ガラス・枚葉シートを流しながら光を当てて画像検査する装置があります。繊細なガラスや光学フィルムを検査する用途では、表面を傷つけずに搬送しながら画像検査する必要があります。
ローラーコンベヤでは、ロールと擦れることによる擦り傷のリスクや静電気を発生させる可能性がありますし、また エアー浮上テーブルでは、基板の工程差が安定しないため、撮像時にピンボケを起こす可能性があります。
LEVIテーブルであれば、このような問題を解決できます。まず、LEVIテーブルは非接触でガラスやシートを浮かせることができるので、裏面が何かに接触して擦り傷がつくリスクを回避することができます。また、浮上時の工程差が一定なので、撮像時のピンボケを回避して正確に画像検査することができます。これにより、検査装置のユーザー様は、繊細な基材の品質を保持しながら、連続搬送しながら高いタクトで画像検査を行う事ができます。
写真↓：枚葉薄板ガラス用画像検査装置のステージとして使われます
浮上できる主な基材
◆ガラス基板
◆枚葉光学フィルム・シート
◆パネル
◆ウェーハ
◆箔
◆電極・極板
◆その他、表面が平滑な基板
商品に関連する動画
ガラス基板を非接触浮上＋外観検査
◆ガラス基板は振動板の上を浮上
◆エアーブローしてません
◆超音波がエアフィルムを形成 ガラスが浮上
◆ガラス基板を非接触搬送しながら外観検査
ガラス基板を超音波非接触浮上
◆145?角のテーブル上をガラス基板が浮上
◆エアーブローしてません
◆超音波がエアフィルムを形成 ガラス基板が浮上
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