非接触超音波浮上 LEVIテーブル
非接触超音波浮上 LEVIテーブル
超音波で、精密基材を「触れずに浮かす」
LEVIテーブルは、超音波による スクイーズ膜浮上 を利用して、ガラス基板・ウェーハ・枚葉シートなどを 非接触で浮上 させるテーブルです。 エアーを吹き出さず、繊細な基材をやさしく支持します。
非接触で浮上
クリーンな浮上方式
異物転写を防止
組込み可能
接触させずに浮かす、新しい支持方法
メーカー
ZS-Handling GmbH
目的・用途
静電気対策
異物対策
非接触搬送
業界
商品説明
LEVIテーブルは、テーブル面を 超音波で微振動 させることで、ガラス基板やウェーハなどのワークとの間に薄い気体の膜をつくり、 非接触で浮上 させます。
この原理を 「スクイーズ膜浮上」 と呼びます。 一般的なエアー浮上のように、テーブルから圧縮エアーを吹き出してワークを持ち上げる方式ではありません。
そのため、接触を避けたい薄板ガラス、ウェーハ、枚葉シートなどの 精密基材を「浮かせて支持する」 という、新しい装置設計が可能になります。
商品特長
圧縮エアーを吹き出さずに、ワークを非接触浮上
LEVIテーブルは、一般的なエアー浮上テーブルのように、 ノズルや微細孔から圧縮エアーを吹き出して浮上させる方式ではありません。
超音波でテーブル面を微振動させ、ワークとの間に 薄い気体膜（スクイーズ膜） を形成。ガラス基板・ウェーハ・枚葉シートなどを非接触で浮上させます。
LEVIテーブルの浮上方式
圧縮エアー供給不要 ／ 周囲の空気・雰囲気ガスを利用 ／ ワークを非接触支持
エアーブローを必要としないため、 クリーンルームや精密製造工程への組込み にも適した浮上技術です。
接触による擦り傷・クラック・異物転写を防止
薄板ガラスやウェーハなどの精密基材では、搬送・検査工程でのわずかな接触が 擦り傷や微小なクラック、異物転写 につながることがあります。
LEVIテーブルは、ワークとの間に形成したスクイーズ膜によって ワークの上下面を接触させずに支持 します。 また、ワークに加わる力を面で分散できるため、繊細な基材への局所的な負荷を抑えます。
非接触支持で避けたい3つのリスク
擦り傷 ／ 微小クラック ／ 接触面からの異物転写
外観品質や表面清浄度が求められる ガラス基板・ウェーハ・薄い枚葉シート などを、できるだけ接触させずに扱いたい工程に適しています。
安定した非接触浮上を、画像検査・精密測定に
画像検査では、ワークとカメラの距離が変化すると、 ピンボケや検査精度の低下 につながることがあります。 特に薄いガラス基板やウェーハでは、接触による傷を避けながら、安定した状態で検査することが重要です。
LEVIテーブルは、スクイーズ膜によってワークを 安定して非接触浮上 させることができます。 この特長を活かし、画像検査や精密測定を行うための 非接触ステージ として装置へ組み込むことができます。
検査工程でのメリット
非接触でワークを支持
＋
安定した浮上状態
→ 繊細な基材を傷つけず、画像検査・精密測定へ
枚葉薄板ガラスやウェーハなど、 表面品質を維持しながら検査したいワーク に適した非接触浮上技術です。
クリーンルーム・ドライルーム・特殊雰囲気にも対応
LEVIテーブルは、浮上のために圧縮エアーを吹き出さないため、 クリーンルームやドライルーム など、製造環境の気流や清浄度に配慮したい工程への組込みに適しています。
周囲の気体を利用してスクイーズ膜を形成するため、空気環境だけでなく、 窒素（N?）・アルゴン（Ar）などの雰囲気ガス環境 でも使用できます。
さまざまな製造環境へ
クリーンルーム ドライルーム 窒素（N?） アルゴン（Ar）
テーブルのサイズや形状は用途に合わせて設計でき、 画像検査装置や製造ラインへの組込み など、ワークや装置構成に合わせたカスタム対応が可能です。
用途・ワークから、LEVIテーブルの活用例を見る
LEVIテーブルは、ガラス基板・ウェーハ・枚葉フィルム／シートなど、 接触を避けたい精密ワークの浮上・検査工程 に活用できます。 用途別の詳しい事例や動画は、以下のページをご覧ください。
傷・異物転写を避けながら検査したい
薄板ガラスなどを非接触浮上させ、検査装置へ組み込む活用例を紹介します。
非接触浮上搬送で擦り傷・異物を防止｜検査装置向け超音波浮上技術 →
ガラス基板・枚葉フィルム／シートを浮上させたい
薄く繊細な枚葉ワークを超音波で非接触浮上させる技術を詳しく紹介します。
ガラス基板・枚葉フィルム・シートを超音波で非接触浮上搬送 →
ウェーハを非接触でインライン検査したい
ウェーハ検査への応用と、実際の非接触浮上・検査の様子を動画でご覧いただけます。
ウェーハをインライン検査する画期的な技術（動画あり） →
浮上したワークを横方向へ搬送したい
超音波で浮上させた薄いワークを、別途駆動機構と組み合わせて横方向へ搬送する方法を紹介します。
非接触超音波浮上コンベヤ｜薄い空気膜上を滑らせて搬送します →
装置設計のポイント： LEVIテーブル単体の役割はワークの 「非接触浮上」 です。横方向へ搬送する場合は、ベルトなどの駆動機構を別途組み合わせます。
超音波浮上とエアー浮上、何が違う？
非接触でワークを浮かせる方法には、圧縮エアーを吹き出す 「エアー浮上」 と、超音波振動によるスクイーズ膜を利用する 「超音波浮上」 があります。 どちらも非接触支持が可能ですが、浮上させる仕組みや設備条件が異なります。
| 比較項目 | 超音波浮上 LEVIテーブル | 一般的なエアー浮上テーブル |
|---|---|---|
| 浮上原理 |
超音波振動による スクイーズ膜 |
ノズル・微細孔などから 圧縮エアーを供給 |
| 圧縮エアー | 浮上用には不要 | 必要 |
| 気流 | エアーブローなし | 浮上面からエアーを吹き出す |
| クリーン環境 | 設計気流を乱しにくい | 吹出しエアーの影響を考慮 |
| 異物への配慮 | 吹出し気流による異物の巻き上げを抑えやすい | 吹出し条件や周辺環境への配慮が必要 |
| ランニングコスト | 圧縮エアーを連続消費しない | 浮上中は圧縮エアーを継続供給 |
| N2・Ar雰囲気 | 周囲の雰囲気ガスを利用可能 | 浮上用ガスの供給設備を検討 |
特に クリーンルーム、ドライルーム、精密検査工程、N2・Ar雰囲気 など、余計なエアーブローを避けたい環境でLEVIテーブルの特長を活かせます。
LEVIテーブルの供給範囲｜「浮上」と「搬送」の違い
LEVIテーブルは、ガラス基板・ウェーハ・枚葉シートなどを 非接触で「浮上」させるためのユニット です。 弊社からの供給範囲だけでワークを浮上させることができます。
弊社からの標準的な供給範囲
この構成で、ワークを非接触で「浮かす」ところまで可能です。
横方向へ動かす場合は、別途「駆動機構」が必要です
LEVIテーブル自体には、浮上したワークを横方向へ移動させる駆動機構は含まれていません。 横搬送を行う場合は、 ベルトコンベヤなどの駆動機構が別途必要 です。
たとえば、ガラス基板を横搬送する場合
LEVIテーブルで上下面を非接触支持
＋
ガラス端面にベルトを接触
↓
ベルトの移動に追従して、浮上したガラス基板を横搬送
このように、LEVIテーブルを 非接触浮上のコア技術 として、検査装置や搬送装置へ組み込むことができます。
横搬送の仕組みや実際の動作については、こちらの事例をご覧ください。
非接触超音波浮上コンベヤ｜薄い空気膜上を滑らせて搬送します →
LEVIテーブル よくあるご質問
LEVIテーブル よくあるご質問
商品に関連する動画
ガラス基板を非接触浮上＋外観検査
◆ガラス基板は振動板の上を浮上
◆エアーブローしてません
◆超音波がエアフィルムを形成 ガラスが浮上
◆ガラス基板を非接触搬送しながら外観検査
ガラス基板を超音波非接触浮上
◆145?角のテーブル上をガラス基板が浮上
◆エアーブローしてません
◆超音波がエアフィルムを形成 ガラス基板が浮上
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