LEVIソーラーグリッパー｜ケー・ブラッシュ商会

LEVIソーラーグリッパー

基板関連

LEVIソーラーグリッパーは、非接触吸着板の下でソーラーウェーハを非接触チャックしたまま保持するハンドです。

メーカー

ZS-Handling GmbH

目的・用途

静電気対策

異物対策

非接触搬送

業界

自動車・搬送

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研究開発

印刷・包装

電子部品・半導体

メディカル

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商品説明

非接触吸着板は、超音波で微振動しており、吸着板とソーラーウェーハの間に加圧したエアフィルム・ガスフィルムを形成します。このエアフィルムが反発力になります。

そして、ソーラーウェーハの上面にハンドが近接すると、吸引力でウェーハを引き寄せて吸着します。吸引と同時に、吸着面にはエアフィルムの反発力があるため、ウェーハが接触しない状態を保持し続けることが出来ます。

スクイーズ膜浮上効果を応用した非接触チャック技術です。スクイーズ膜効果で非接触でチャックしたソーラーウェーハは、非常に安定しています。薄く破損しやすい繊細なソーラーウェーハを、破損率を下げて非接触で搬送するのに最適です。

周辺へパーティクルの飛散リスクが極めて低く、エアー汚染のリスクを低減しています。

ソーラーウェーハに加わる力は分散しています。一カ所に極度に負荷をかけないので、ソーラーウェーハの変形や破損リスクを回避しています。

また、接触による微細な異物が転写するリスクを回避して、ソーラーウェーハの清浄度を保持して移載することが出来ます。

ソーラーウェーハが横滑りして落下するのを防止するため、サイドストップが４コあります。

クリーンルームで、不良率削減・良品率向上・歩留まり向上に貢献します。

◆ソーラーウェーハを非接触で移載するので微小な傷やクラックを防止！

◆ソーラーウェーハの上下面を非接触保持することにより異物の転写を防止！

◆スクイーズ膜効果は、ソーラーウェーハに加わる力を分散できるので、ウェーハの変形・破損リスクが低い！

◆エアーブローしないのでクリーンルームの設計気流を乱さない※

◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが無い※

◆吸着板の清掃・メンテナンスは簡単！

◆超音波システムは実用上メンテナンスフリー！

◆低ランニングコスト

◆クリーンルーム・ドライルーム・窒素・アルゴン、様々な雰囲気ガス環境で使用可能！

※
LEVIソーラーグリッパーは、ソーラーウェーハをピックアップする時・リリースする時に、ウェーハから若干距離を離した位置からピックアップするために、エアーブロー用ノズルが搭載しており、瞬間的なエアーブローでベルヌーイチャックの原理でウェーハを引き寄せることが出来ます。

これにより、ピックアップ時またはリリース時に、ウェーハと吸着板の距離をより大きくしてチャックすることが出来ます。チャックした後は、エアーブローは不要なのでエアーブローをOFFにします。そして、陰圧による吸引力とスクイーズ膜効果の反発力だけで非接触チャックの状態を保持して、Z方向、X・Y方向への移動を行います。

エアーブロー無しで、ソーラーウェーハをピックアップすることもできます。瞬間的なエアーブローによる吸着力を適用する時と比べ、チャック面をウェーハに近づける距離が小さくなります。

商品特長

技術データ

寸法：201 x 166 x 182mm (L x W x H)
重量：2,9kg
運転電圧：24VDC
サイドストップ：4カ所（エア駆動式(M2/M2+)）
機械的なインターフェース：M5ネジx4コ
運転エア圧：0.4MPa(max.0.5MPa)
振動板材質：陽極酸化アルミ
消費電力：＜60W
運転環境温度：20℃～40℃
運転環境湿度：20～50％
周波数：35Hz
保護クラス：IP67

適用できるウェーハ

ウェーハ：シリコンウェーハ

サイズ：M2/M2+, 他のサイズは別途お問い合わせください
(156,75+/-0,25mm/157,35+/-0,25mm)

クリーンルームクラス：ISO6

LEVIソーラーグリッパー