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除電ブラシは環境に優しい静電気除去技術です ゴミ取り・静電気・除塵対策
除電ブラシは環境に優しい静電気除去技術です

  目次 除電ブラシDB35とは?除電ブラシDB35の主な用途除電ブラシが静電気を除去する原理除電ブラシDB35の写真除電ブラシの取付寸法除電ブラシの設置関連情報 除電ブラシDB35とは? 除電ブラシDB35は、産業用途の除電ブラシです。工場の生産現場で、無用な静電気を除去するために使用します。ユーティリティーに、電源・圧縮エアーは不要です。除電ブラシは、イニシャルコストが安いだけでなく、ランニングコストはゼロ!エネルギーコストが極めて低い!上手に使えば、とっても役に立ちます。設備投資負担を軽減して、製造ラインの静電気対策を行い、不良率削減・良品率向上・歩留まり向上につなげることができます。除電ブラシ DB35をみる 除電ブラシDB35の主な用途   ◆ロールtoロール(フィルム・シート・紙・箔・ガラス繊維)◆コンベヤ搬送工程(ガラス・枚葉シート・樹脂成型品・ゴム・基板・生板)除電ブラシ DB35をみる 除電ブラシが静電気を除去する原理 除電ブラシは、基材表面に接触させずに、わずかに距離を離して設置します。※除電ブラシは、必ずアースに接地して使用します。基材がマイナスに帯電していると、アースからプラスイオンが誘導され、基材の静電気を中和します。基材がプラスに帯電していると、アースからマイナスイオンが誘導され、基材の静電気を中和します。これが、除電ブラシが基材の静電気を除去する原理です。この除電原理には、電源・コンプレッサーエアは不要です。電気を一切 使うことなく、自然現象を利用して、静電気を除去します。除電ブラシ DB35をみる 除電ブラシDB35の写真   ◆DBS35-300mmステンレススチールのブラシです。主に、食品工場・製薬・半導体用途で使用します。◆DBC35-600mmカーボンブラシです。いろいろな用途に、汎用的に使用できます。◆DBC35-1100mmカーボンブラシです。いろいろな用途に、汎用的に使用できます。除電ブラシ DB35をみる 除電ブラシの取付寸法 除電ブラシ DB35をみる 除電ブラシの設置  ◆アルミフレームに除電ブラシを設置 必ずアースに接続します◆クリアランス除電ブラシは、必ずしも基材と接触させる必要はありません。表面にダメージを与えたくない基材(フィルム・紙・樹脂シート・ガラス等)は、非接触で設置しても大丈夫です。推奨距離は1mm~3mmです。距離が近いほど、より静電気を中和しやすくなります。これで準備完了です。電源・エアー等の接続は不要です。除電ブラシ DB35をみる 関 連 情 報 除電ブラシで低予算で静電気対策!除電の原理・選び方・使い方をまとめましたエアーフリー除電技術がカーボンニュートラルに貢献できる理由エアーフリー除電技術は工場のSDGsへの取り組みの切り札!エアーフリー除電技術を工場の低炭素化に活かす!革新的な省エネ性能!パルスDCイオナイザ スマートイオンパネル・ガラス基板の異物対策・静電気対策!高周波ACイオナイザで静電気対策!クリーンルームへ搬入する部材の異物対策!エアーフリー除電技術でクリーンルームの静電気対策!製造現場の静電気|基礎から学び 不良低減につなげよう!除電器・イオナイザの種類と選び方|4つのポイントで早わかり!をみる

スクイーズ膜効果で半導体ウェーハを非接触浮上!実験動画 基板関連
スクイーズ膜効果で半導体ウェーハを非接触浮上!実験動画

  目次 動画:ウェーハを非接触浮上スクイーズ膜効果によるウェーハ浮上の原理スクイーズ膜効果によるウェーハ浮上のメリット関連情報              取扱代理店:㈱ケー・ブラッシュ商会 動画:ウェーハを非接触浮上   動画を解説!◆浮上させたウェーハのサイズ①4インチ,厚さ150ミクロン②6インチ,厚さ50ミクロン◆エアーブローしてません!スクイーズ膜効果で浮上しています。 LEVIウェーハグリッパーをみる スクイーズ膜効果によるウェーハ浮上の原理 動画では、ウェーハは穴が空いた板の上に乗せられてます。板は、特別に設計された超音波発信機が接続されており、運転中は高周波で微振動しています。この時、ウェーハと振動板の間の空気は、圧縮・拡散を高周波で繰り返すことにより、加圧されたエアフィルムを形成します。このエアフィルムがウェーハを押し上げる(浮上させる)反発力になります。スクイーズ膜効果による浮上の原理には、ウェーハを浮かせるために、エアーを吹き出したり、エアーブローする必要はありません。生産環境中の空気を利用して、浮上させているのです。また、クリーンルーム中に エアーブローすることを回避することにつながります。コンプレッサーや工場エアが不要なので、ランニングコストは極めて低くなります。その他、スクイーズ膜効果を応用したウェーハ浮上原理は、コンプレッサーフリーです。コンプレッサーに依存する他の方式(ベルヌーイチャック・エアークッション等)と比較して、コンプレッサーの使用に伴う二酸化炭素排出量を削減することにつながります。(参考:工場のコンプレッサーの電力消費がCO2排出につながる訳)LEVIウェーハグリッパーをみる スクイーズ膜効果によるウェーハ浮上のメリット ◆圧縮エア・工場エアは不要です。エアーブローしてません。◆生産環境中の空気を利用して、ウェーハを浮上させる反発力にしてます。◆クリーンルーム内にパーティクルを吹き上げたり・飛散させるリスクを削減します◆クリーンルームの設計気流を破壊するリスクを削減します。◆超低ランニングコスト(圧縮機を使用しないので)◆ウェーハを安全に移載するのに役立ちます。◆接触に起因するコンタミの転写リスクを削減します。◆不良率・破損率削減→生産性向上!LEVIウェーハグリッパーをみる   関 連 情 報 半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジ!ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレットチップ移載 最新技術|完全非接触チャックICチップ・積層チップを超音波非接触チャックをみるデモ実演!超音波のハンドでウエハカセットの取出・収納デモ実演!半導体ウェーハを超音波非接触チャック!超音波非接触ピックアンドプレース レア動画公開!をみる超音波非接触ピックフリッププレース レア動画公開!をみるウェーハを超音波で非接触移載する技術半導体ウェーハを超音波非接触チャックなぜゴミや異物の問題がなくならないのか をみる製造現場の静電気 | 基礎から学び不良低減につなげよう!をみる

半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジ! ゴミ取り・静電気・除塵対策
半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジ!

  目次 半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジ!CO2スノージェット洗浄装置とはCO2スノージェット洗浄装置の4つの洗浄効果動画:ウェーハをドライ洗浄する用途CO2スノージェット洗浄装置の機器構成洗浄対象となる主なコンタミ・異物CO2スノージェット洗浄装置のメリット関連情報 半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジ! ドイツでは、ウェーハをドライプロセスで洗浄する新たな取り組みが行われています。CO2スノージェット洗浄装置を適用して、純水や薬品を使用せずに洗浄する、というものです。液体・薬品を使用することに伴う様々な弊害を取り除くことができる可能性があります。CO2スノージェット洗浄装置の詳細みる CO2スノージェット洗浄装置とは 洗浄メディアは、液体CO2(液化炭酸ガス)です。ボンベまたはタンクから供給します。CO2スノージェット洗浄装置の特別に設計されたノズルから液体CO2を噴霧して、基材へ噴霧します。液体CO2は、ノズルから放出されると気体または個体(微細なドライアイス/CO2スノー)になります。そして、ノズルから同時に吹き出す圧縮エア(または窒素ガス)が、CO2スノーを加速して基材へ到達して、表面を洗浄します。二酸化炭素は、常温・常圧下では、液体の状態を保持することができませんので、基材表面には二酸化炭素が液体の状態で残ることが無いのです。このような二酸化炭素の性質を利用して、ウェーハをドライで洗浄することがねらいです。CO2スノージェット洗浄装置の詳細みる CO2スノージェット洗浄装置の4つの洗浄効果 ◆衝撃洗浄  微細な二酸化炭素の結晶(CO2スノー)が基材に衝突するエネルギーで洗浄します。二酸化炭素の結晶は、たちまち気体に昇華するため、衝突の衝撃力を最小限にします。 これは、ショットブラスト・サンドブラストとの違いです。◆爆発洗浄 個体の二酸化炭素の結晶は、気体に昇華する時に、体積が約600倍に膨張します。この爆発的なエネルギーで表面を洗浄します。◆脆化 CO2スノーは、-78.5℃と低温です。基材表面のコンタミから熱を奪い、脆くして(脆化)除去しやすくします。◆溶剤効果 二酸化炭素の結晶の中には、衝突時の圧力により瞬間的に液化することがあります。液体の二酸化炭素は、無極性溶媒のような溶剤効果があります。CO2スノージェット洗浄装置の詳細みる 動画:ウェーハを洗浄する用途   動画の内容:0:56~1:04)ダイシング前のウェーハをノズルを高速移動しながら表面洗浄する動画1:47~1:56)ダイシング後の表面の残渣をCO2スノーでドライ洗浄 ビフォー/アフター比較画像1:57~2:06)シリコンベース光(フォトニック)チップを CO2スノーでドライ洗浄 ビフォー/アフター比較画像その他、イメージセンサーをドライ洗浄・レンズをドライ洗浄・有機物(指紋)をドライ洗浄する動画が入っています。 CO2スノージェット洗浄装置の詳細みる CO2スノージェット洗浄装置の機器構成 ①コントローラ(バルブ・弁・レギュレータ・フィルター・制御用PLC)②温調器③ノズル④ノズル⇔温調器⇔コントローラ間 液体CO2配送用 高圧チューブ ⑤ノズル⇔温調器⇔コントローラ間 圧縮エア用高圧ホース含まれてないもの:ロボット(ノズル操作用)液体二酸化炭素(サイホン式ボンベ または タンク)コンプレッサー・圧縮エア(油分・水分を除去したドライエアー)電源二酸化炭素排出用ダクト二酸化炭素センサーCO2スノージェット洗浄装置の詳細みる 洗浄対象となる主なコンタミ・異物 ◆微細なゴミ・ホコリ・粉塵・パーティクル◆フィルム状のコンタミ(薄い油膜、薄い接着剤・粘着物の残渣など)◆有機系異物(指紋など)◆無機系粉塵(微細な金属粉塵など)◆フラックスの残渣CO2スノージェット洗浄装置の詳細みる CO2スノージェット洗浄装置のメリット ◆CO2スノーを狙いの個所に噴霧して、部分的な洗浄を可能にします。◆ワークピースへのダメージは最小限◆薄い油の皮膜・有機系異物の除去にも効果があります◆薄い粘着質な異物の除去にも効果があります◆早いタクトタイム・省スペース◆間欠運転に適しています◆ロボットに持たせて洗浄工程を自動化したい用途に適しています◆ウェット洗浄(超音波洗浄・有機溶剤など)のような廃液処理は不要ですCO2スノージェット洗浄装置の詳細みる 関 連 情 報 エアーブロー・集塵では除去できない微細な異物をドライ洗浄(動画付き)CO2スノーでレーザー加工後のヒュームをドライ洗浄!手持ち式 除塵ピストルで異物を吸引除去ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレットICチップ・積層チップを超音波非接触チャックをみるデモ実演!半導体ウェーハを超音波非接触チャック!

ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレット 基板関連
ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレット

  目次 ウェーハチップを非接触で吸着する原理ウェーハチップを非接触で移載する「マイクロLEVIグリッパー」ウェーハチップをロボットでピックアンドプレースする動画マイクロLEVIグリッパーで移載するメリットベルヌーイチャックとの比較関連情報              取扱代理店:㈱ケー・ブラッシュ商会 ウェーハチップを非接触で吸着する原理   ウェーハチップを吸着するためのチャック部(コレット)は、負圧(バキューム力)でチップの引き寄せます。同時に、ウェーハチップを吸着するためのチャック部(コレット)は、運転中は超音波で微振動しています。振動するコレットとウェーハチップの間には、スクイーズ膜効果によるエアフィルムが形成され、ウェーハチップを押し返す反発力になります。つまり、チャック部(コレット)は、負圧(バキューム力)でウェーハチップを引き寄せると同時に、エアフィルムの反発力で非接触で把持した状態になります。これが、ウェーハチップを非接触でチャックできる原理です。マイクロLEVIグリッパーをみる ウェーハチップを非接触で移載する「マイクロLEVIグリッパー」 マイクロLEVIグリッパーは、ウェーハチップを非接触でピックアップして所定の場所まで搬送してリリースするためのハンドです。ウェーハチップを吸着するためのチャック部には、超音波で微振動するコレットを装着しており、ウェーハチップを非接触で吸着することができます。マイクロLEVIグリッパーをロボットに持たせて、チップを移載するハンドにして使用することができます。マイクロLEVIグリッパーをみる ウェーハチップをロボットでピックアンドプレースする動画 動画を解説!ロボットは、超音波で微振動するコレットを吸着部に装着しています。ウエハチップをバキューム力で引き寄せると同時に、超音波が生成する反発力で非接触にしたまま、ピックアップします。端面にガイドを付けてませんが、90°反転しても落下しません。非接触でセンタリングされてるためです。ウエハチップの上下だけでなく、端面も非接触にすることができ、接触に起因するコンタミの転写を回避します。ベルヌーイチャックのようにエアーブローしないので、エアーに起因する様々な問題を回避することができます。マイクロLEVIグリッパーをみる マイクロLEVIグリッパーで移載するメリット ◆ウェーハチップを非接触で移載!◆ウェーハチップに加わる力は最小限!◆ウェーハチップを非接触チャックして傷やクラックを防止!◆クリーンルームでエアーブローせずにウェーハチップをチャック!◆エアーブロー・窒素ブローでパーティクルを飛散させません!◆ウェーハを非接触チャックして異物の付着を防止!◆圧縮エアー源からの汚染リスクを回避!◆圧縮エアーのメンテナンスが不要。マイクロLEVIグリッパーをみる ベルヌーイチャックとの比較              超音波非接触チャック        ベルヌーイチャック                        エアーブロー       無       有                       窒素ブロー       無       有                       エアーブローによる汚染リスク       無       有                       ウェーハチップへの負荷       小       大                       クリーン環境の適合性       〇       △                       歩留まり       〇       △        マイクロLEVIグリッパーをみる   関 連 情 報 チップ移載 最新技術|完全非接触チャックICチップ・積層チップを超音波非接触チャックをみるデモ実演!超音波のハンドでウエハカセットの取出・収納デモ実演!半導体ウェーハを超音波非接触チャック!超音波非接触ピックアンドプレース レア動画公開!をみる超音波非接触ピックフリッププレース レア動画公開!をみるウェーハを超音波で非接触移載する技術半導体ウェーハを超音波非接触チャックなぜゴミや異物の問題がなくならないのか をみる製造現場の静電気 | 基礎から学び不良低減につなげよう!をみる

レンズを超音波で非接触浮上させる技術 基板関連
レンズを超音波で非接触浮上させる技術

  目次 レンズが超音波で非接触浮上する原理動画:レンズを非接触浮上超音波でレンズを浮上させるメリットベルヌーイチャックとの比較関連情報 レンズが超音波で非接触浮上する原理 レンズの曲面に合わせて、お椀のようにくぼんだコレットの上にレンズを載せます。コレットの表面は超音波で微振動させることができ、レンズとの間の空気を高速で圧縮・拡散を繰り返すことで、薄い空気膜を形成することができます。空気膜は、レンズを押し返す反発力になります(スクイーズ膜効果)。これが非接触で浮上する原理です。超音波による非接触浮上では、エアーブローは不要です。エアーブローに伴う様々な問題を回避することができます。クリーンルームの中で使用しても、エアーブローでパーティクルの飛散を回避することができ、室内の設計気流を乱すリスクを回避することができます。そして、エアーブローによる異物付着・コンタミのリスクを無くし、高い清浄度でレンズをハンドリングすることができます。また、コレットには、バキューム用の穴を加工することで、レンズの上からアプローチして、吸着することができます。レンズを、バキュームして吸着すると同時に、空気膜の反発力で押し返すことで、レンズを非接触チャックするのです。ロボットで操作することで、ピックアンドプレースするハンドとして適用することができます。この原理では、ベルヌーイチャックと異なり、レンズに加わる負荷を最小限にしてチャックできるので、吸着痕・傷・異物転写リスク低減につながります。マイクロLEVIグリッパーをみる   動画:レンズを非接触浮上 動画を解説:レンズを載せているコレットは、レンズの曲面に沿った窪んだ形状をしています。コレット表面を超音波で微振動させています。そして、コレットとレンズの間の空気を加圧し、レンズを浮上させる反発力にしています(スクイーズ膜効果)。レンズは、非常に安定した高低差で浮上しています。マイクロLEVIグリッパーをみる 超音波でレンズを浮上させるメリット ◆レンズは高い安定性で非接触浮上します!◆レンズに与える負荷が低く、傷・マイクロクラックのリスクは最小限!◆レンズを非接触浮上し、接触に起因する異物付着を防止!◆エアーブロー不要!◆クリーンルームでエアーブローによる気流を発生させません!◆エアーブローでパーティクルを飛散させません!◆圧縮エアー源からの汚染リスクは皆無!◆圧縮エアーのメンテナンスが不要!マイクロLEVIグリッパーをみる ベルヌーイチャックとの比較            超音波非接触浮上        ベルヌーイチャック                        エアーブロー       無       有                       コンプレッサー       無       有                       圧縮エアのメンテナンス       無       有                       エアーブローによる汚染       無       有                       レンズへの負荷       小       大                       クリーン環境の適合性       〇       △                       歩留まり       〇       △        マイクロLEVIグリッパーをみる   関 連 情 報 小さなレンズを超音波非接触チャック超音波でウェーハチップを非接触で移載(動画あり)チップ移載 最新技術|完全非接触チャックICチップ・積層チップを超音波非接触チャックをみる超音波非接触ピックアンドプレース レア動画公開!をみる超音波非接触ピックフリッププレース レア動画公開!をみるなぜゴミや異物の問題がなくならないのか をみる製造現場の静電気 | 基礎から学び不良低減につなげよう!をみる

SEMICON JAPANに出展します 基板関連
SEMICON JAPANに出展します

 ケー・ブラッシュ商会は、(独)ZS-Handling社の超音波 非接触浮上・非接触吸着装置を出展します。 会期:2023年12月13日(水)~12月15日(金) 時間:10:00~17:00  会場:東京ビッグサイト小間番号:6928 出展内容 ウェーハを非接触浮上する装置:LEVIウェーハグリッパーウエハチップを非接触吸着する装置:マイクロLEVIグリッパー関連情報 ウェーハを非接触浮上する装置:LEVIウェーハグリッパー LEVIウェーハグリッパーは、ウェーハを非接触把持するためのハンドです(エンドエフェクタ)。ロボットに持たせて、ウエハカセットへの挿入・取り出しするハンドにすることができます。LEVIウェーハグリッパーのパドルの上では、ウェーハは非接触で浮上します。パドル(振動板)とウェーハの間に加圧したエアフィルムを形成して浮上させる原理です(スクイーズ膜効果)。エアーブローして浮上するのではありませんので、クリーンルームでパーティクルの飛散を回避できます。また、接触による擦り傷・異物の転写を回避して、高い清浄度でウェーハを移載します。写真:LEVIウェーハグリッパー展示会場では、デモ機を展示する予定です。LEVIウェーハグリッパーをみる ウエハチップを非接触吸着する装置:マイクロLEVIグリッパー マイクロLEVIグリッパーは、ダイシング後の小片化したウエハチップ・ICチップを、非接触吸着して移載するための装置です。コレットは、ウエハチップと同じサイズに制作します。コレットは、超音波で微振動して ウエハチップとコレット表面の間に加圧したエアフィルムを形成して浮上させる原理です(スクイーズ膜効果)。エアーブローして吸着するのではありませんので、クリーンルームでパーティクルの飛散を回避できます。また、接触による擦り傷・異物の転写を回避して、高い清浄度でウェーハを移載します。写真:マイクロLEVIグリッパーデモ機展示会場では、デモ機を展示する予定です。マイクロLEVIグリッパーをみる   関 連 情 報 デモ実演!半導体ウェーハを超音波非接触チャック!チップ移載 最新技術|完全非接触チャックウェーハをインライン検査する画期的な技術(動画あり)ウェーハを超音波で非接触移載する技術ICチップ・積層チップを超音波非接触チャックをみる超音波 非接触 搬送技術を検査工程へ応用をみる非接触超音波浮上コンベヤ|薄い空気膜上を滑らせて搬送します超音波非接触ピックアンドプレース レア動画公開!をみる超音波非接触ピックフリッププレース レア動画公開!をみるなぜゴミや異物の問題がなくならないのか をみる製造現場の静電気 | 基礎から学び不良低減につなげよう!をみる

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