二酸化炭素の結晶(CO2スノー)を噴霧するノズルを専用チャンバー内に設置してます。チャンバー内で基材をドライ洗浄する装置です。ステンレススチール製チャンバーはクリーンルーム用途に最適化してます。チャンバー内での洗浄は防音効果があり、除去したコンタミ・異物・放射した二酸化炭素は局所排気しながら運転します。
ACP
異物対策
電池の製造
ジェットステーションは、クリーンルームで生産する半導体部品・電子部品・センサー等に対して、表面に付着した異物・微小な汚染物をドライプロセスで洗浄する装置です。
バッチ式 独立型のドライ洗浄装置です。
ジェットステーションの密閉用チャンバーは、クリーンルームに適したステンレススチール製です。
密閉チャンバーの中には、CO2スノーを噴霧するノズルがセットされています。
ノズルから、噴霧した液化炭酸ガスは、微小な氷の結晶(CO2スノー)になって、放射されます。基材に付着した様々な異物をドライ洗浄します。
噴霧したCO2スノーや排気は、密閉チャンバー内で行われるので、チャンバーの外への飛散を防止しています。
また、CO2スノーで洗浄したガスをチャンバー内で排気することにより、表面から除去された異物が製品に再付着するのを防止しています。
そして、密閉チャンバーは、CO2スノーを噴霧する時のノイズを消音する効果があります。
※左右にフリックしてご覧いただけます。

ステンレス製チャンバー内で手動洗浄。遮音性も良く、一般環境~クリーンルームで使用します

ステンレス製チャンバー内のロボットで自動洗浄。遮音性も良く、一般環境~クリーンルームで使用します
基材は、スライド式ドアから手作業でチャンバーへ出し入れします。スライドドアは、安全スイッチ付です。CO2センサーが、二酸化炭素濃度のモニタリングを行い、設定濃度を超えた場合、洗浄装置の運転を自動シャットダウンします。立ち作業・座り作業のどちらにも適しています。CO2スノーのON/OFFは、フットペダルで行います。
CO2スノーを噴霧するノズルは、遮音性が高い密閉チャンバー内に設置されてます。ノイズで作業環境を悪化させないように設計されています。クリーンルームの用途にも最適化します。
チャンバー内で洗浄作業中は、ノズルからは二酸化炭素を放射して、基材から除去したコンタミ・異物が飛散しますので、チャンバー床から排出していきます。
チャンバー内の洗浄作業は、グローブポートから手を挿入して、手作業で洗浄を行うか、またはチャンバー内にロボットを設置して自動運転するか いづれかの方法がございます。

◆研究所・実験室での使用
◆半導体材料製造工場
◆レンズ・センサー等光学部品
◆電子部品・光学系部品・電池製造工場
◆医療用部品生産工場
◆自動車用部品生産工場
◆ガラス基板・プリント基板製造工場
・クリーンルームへ最適化
ステンレスチャンバー内で洗浄作業できるので、クリーンルームへの適性があります。遮音性に優れ、異物・コンタミの飛散を防止し、二酸化炭素を局所排気します。これにより、クリーンルーム内でもCO2スノーの高い洗浄力を生かしたドライ洗浄装置を持ち込む事が可能になります。コンタミを乾式洗浄することにより、洗浄の作業性が向上・ドライなので洗浄後の乾燥が不要・どぶ付けの湿式洗浄機に比べ はるかに狭いスペースに設置できるメリットがございます。
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◆微小なゴミ・ホコリ
エアーブローノズル・集塵・除塵用ノズルでは除去が難しい、ミクロンオーダー サブミクロンオーダーの異物・粉塵にも高い除塵効果
◆有機系異物・炭化水素系汚染物
◆油の皮膜・指紋
◆プリント基板に残ったフラックスの残渣
◆レーザー溶接後のヒューム・蒸散物・すす
◆ミクロンオーダーの微小バリ(PEEK・医療用部品等)

Q1)デモはできますか?
A1)チャンバー込みのシステムのデモ機はございませんが、ジェットウォーカーP16型のデモ機がございますので、CO2スノーでコンタミを洗浄可否を確認する実験ができます。テスト費用は別途ご確認をお願いします。
Q2)定期メンテナンスは必要ですか?
A2)エア用フィルター・液体CO2用フィルターの交換・局所排気系統のフィルター交換が必要です。
Q3)アフターサービスの体制はどうなってますか?
A3)不具合が発生した場合、弊社押上分室にて修理を行うか、または弊社技師が出張して修理対応を行います。
Q4)打ち合わせをしたい
A4)WEB会議またはお客様の工場へ出張してのお打ち合わせ、随時行っております。
◆エアーブローしても粉塵は除去しきれません
◆CO2スノーは、エアーブローで除去しきれなかった粉塵をきれいにドライで洗浄します
◆レンズを研磨した後の残渣・粉塵をドライ洗浄
◆ノズルをロボットで操作。早いタクトでドライ洗浄!
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