ジェットステーション｜ケー・ブラッシュ商会

ジェットステーション

ゴミ取り・静電気・除塵対策

◆クリーンルームに適した専用チャンバー内でドライ洗浄できます
◆CO2スノーを噴霧するノズルがついてます

メーカー

ACP

目的・用途

異物対策

業界

電機機器

研究開発

非鉄金属

鉄鋼

電子部品・半導体

メディカル

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商品説明

ジェットステーションは、クリーンルームで生産する半導体部品・電子部品・センサー等に対して、表面に付着した異物・微小な汚染物をドライプロセスで洗浄する装置です。

バッチ式独立型のドライ洗浄装置です。

ジェットステーションの密閉用チャンバーは、クリーンルームに適したステンレススチール製です。

密閉チャンバーの中には、CO2スノーを噴霧するノズルがセットされています。

ノズルから、噴霧した液化炭酸ガスは、微小な氷の結晶（CO2スノー）になって、放射されます。基材に付着した様々な異物をドライ洗浄します。

噴霧したCO2スノーや排気は、密閉チャンバー内で行われるので、チャンバーの外への飛散を防止しています。

また、CO2スノーで洗浄したガスをチャンバー内で排気することにより、表面から除去された異物が製品に再付着するのを防止しています。

そして、密閉チャンバーは、CO2スノーを噴霧する時のノイズを消音する効果があります。

＜洗浄装置の運転＞

基材は、スライド式ドアから手作業でチャンバーへ出し入れします。スライドドアは、安全スイッチ付です。

CO2センサーが、二酸化炭素濃度のモニタリングを行い、設定濃度を超えた場合、洗浄装置の運転を自動シャットダウンします。

立ち作業・座り作業のどちらにも適しています。CO2スノーのON/OFFは、フットペダルで行います。

商品特長

またローリフト設計により、怪我のリスクを低減出来ます。

本機能により、各種試験時などケーブル末端を任意の位置へ移動させることが出来ます。

主な業界

◆研究所・実験室での使用

◆半導体材料製造工場

◆レンズ・センサー等光学部品

◆電子部品・光学系部品製造工場

◆医療用部品生産工場

◆自動車用部品生産工場

◆ガラス基板・パネル製造工場

主な用途

◆半導体部品

◆医療用部品

◆イメージセンサー（CMOS・CCD）

◆プリント基板（フラックス残渣の洗浄・ボンドパットの洗浄）

◆セパレータのレーザー加工後のすすの洗浄

◆ステンレス等金属製品のレーザー加工前の洗浄（表面の油皮膜等）・レーザー加工後の洗浄（ヒューム・すす・蒸散物）

◆レンズ・光学部品・ガラス基板

◆電子部品・成形回路部品（接点の洗浄等）

◆純銅の酸化被膜を洗浄

洗浄できる主なコンタミ

◆微小なゴミ・ホコリ

エア?ブローノズル・集塵・除塵用ノズルでは除去が難しい、ミクロンオーダーサブミクロンオーダーの異物・粉塵にも高い除塵効果

◆有機系異物・炭化水素系汚染物

◆油の皮膜・指紋

◆プリント基板に残ったフラックスの残渣

◆レーザー溶接後のヒューム・蒸散物・すす

◆ミクロンオーダーの微小バリ（PEEK・医療用部品等）

商品に関連する動画

CO2スノーの洗浄 vs エアーブローノズル

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