ジェットステーション｜ケー・ブラッシュ商会

ジェットステーション

ゴミ取り・静電気・除塵対策

◆クリーンルームに適した専用チャンバー内でドライ洗浄できます
◆CO2スノーを噴霧するノズルがついてます

メーカー

ACP

目的・用途

異物対策

業界

電機機器

研究開発

非鉄金属

鉄鋼

電子部品・半導体

メディカル

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商品説明

ジェットステーションは、クリーンルームで生産する半導体部品・電子部品・センサー等に対して、表面に付着した異物・微小な汚染物をドライプロセスで洗浄する装置です。

バッチ式独立型のドライ洗浄装置です。

ジェットステーションの密閉用チャンバーは、クリーンルームに適したステンレススチール製です。

密閉チャンバーの中には、CO2スノーを噴霧するノズルがセットされています。

ノズルから、噴霧した液化炭酸ガスは、微小な氷の結晶（CO2スノー）になって、放射されます。基材に付着した様々な異物をドライ洗浄します。

噴霧したCO2スノーや排気は、密閉チャンバー内で行われるので、チャンバーの外への飛散を防止しています。

また、CO2スノーで洗浄したガスをチャンバー内で排気することにより、表面から除去された異物が製品に再付着するのを防止しています。

そして、密閉チャンバーは、CO2スノーを噴霧する時のノイズを消音する効果があります。

＜洗浄装置の運転＞

基材は、スライド式ドアから手作業でチャンバーへ出し入れします。スライドドアは、安全スイッチ付です。

CO2センサーが、二酸化炭素濃度のモニタリングを行い、設定濃度を超えた場合、洗浄装置の運転を自動シャットダウンします。

立ち作業・座り作業のどちらにも適しています。CO2スノーのON/OFFは、フットペダルで行います。

商品特長

ドライ洗浄の原理

＜クアトロクリーンテクノロジー＞

CO2スノージェット洗浄装置は、４つの洗浄効果があります。

◆衝撃洗浄

液体CO2をノズルから放射すると小さな氷の結晶（CO2スノー）が生成されます。スノーは、シールドエアで超音速まで加速され、異物に衝撃を与えて剥離します。

◆急速冷却

スノーは、-78.5℃です。スノーは、汚染物を急速冷却して脆化させます。そして、汚染異物の張力と基材表面の張力にひずみが生じて、表面から除去しやすくなります。

◆爆発洗浄

個体のCO2スノーは、気体に昇華する時に、体積が600～800倍に膨張します。この爆発的な膨張により、異物を基材表面から剥離除去します。

◆溶剤効果

シクロヘキサンに近い溶剤効果があります。特に、炭化水素系物質や有機物に対して高い洗浄効果があります。

CO2スノーは、ノズルから放射されると直ちに基材表面に衝突します。スノーの硬度は低いので、基材へのダメージを最小限にして、汚染異物を除去します。二酸化炭素のスノーは、常温・常圧下で液体としてとどまることはありません。たちまち昇華して気体になります。これにより基材をドライで洗浄することが出来ます。

ラインナップ

◆手動式ジェットステーションHP◆

手作業で洗浄を行うときは、スライドドアからチャンバーに搬入した基材を、観察窓のアーム挿入用ポートに腕を入れて、基材を手で持ち、フットペダルでCO2スノーを運転して洗浄します。洗浄の正確性・再現性等は、手作業によります。研究開発・実験や、少量・多品種製品のドライ洗浄に適しています。

◆自動式ジェットステーションHP◆

洗浄の高い再現性・高い清浄度が要求される用途では、チャンバー内にロボットを搭載した自動式ジェットステーションHPがあります。

このシステムでは、基材は自動ドアからチャンバーへ搬入して、X/Y軸システムのレシーバーまたはロータリーテーブル（両方も可）でセットされます。個別の部品に適した洗浄プログラムを予め入力した上で、洗浄をボタン操作します。

ノズルの移動速度・距離・製品の洗浄部の位置合わせ等の条件は、ロボットがプログラムに沿って自動運転します。

＜技術情報＞

重量：約650kg

寸法：2,1m x 1,4m x 0.8m－1m（H x W x D）

液化炭酸ガス：ボンベまたはタンクから接続して下さい

CO2消費量：ノズル1本あたり0.15kg

圧縮エア消費量：0,29m3/min（0.6MPa）、5m3/min（0.95MPa）

供給電源：400VAC / 16A

キャビネット・フレーム材質：ステンレスVAスチール

主な業界

◆研究所・実験室での使用

◆半導体材料製造工場

◆レンズ・センサー等光学部品

◆電子部品・光学系部品製造工場

◆医療用部品生産工場

◆自動車用部品生産工場

◆ガラス基板・パネル製造工場

主な用途

◆半導体部品

◆医療用部品

◆イメージセンサー（CMOS・CCD）

◆プリント基板（フラックス残渣の洗浄・ボンドパットの洗浄）

◆セパレータのレーザー加工後のすすの洗浄

◆ステンレス等金属製品のレーザー加工前の洗浄（表面の油皮膜等）・レーザー加工後の洗浄（ヒューム・すす・蒸散物）

◆レンズ・光学部品・ガラス基板

◆電子部品・成形回路部品（接点の洗浄等）

◆純銅の酸化被膜を洗浄

洗浄できる主なコンタミ

◆微小なゴミ・ホコリ

エア?ブローノズル・集塵・除塵用ノズルでは除去が難しい、ミクロンオーダーサブミクロンオーダーの異物・粉塵にも高い除塵効果

◆有機系異物・炭化水素系汚染物

◆油の皮膜・指紋

◆プリント基板に残ったフラックスの残渣

◆レーザー溶接後のヒューム・蒸散物・すす

◆ミクロンオーダーの微小バリ（PEEK・医療用部品等）

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