◆CO2スノージェット洗浄装置は、二酸化炭素の物理的・熱的な性質を利用したドライ洗浄装置です
◆ボンベ・タンクのCO2の「液体」を使います
◆特別に設計されたノズルが超音速で微細なドライアイス(CO2スノー)を噴射します
◆基材へのダメージは最小限!
◆ゴミ・ホコリの除塵だけでなく、粘着質なコンタミ・油膜の脱脂まで!
◆有機溶剤フリー!VOCフリー!
ACP
異物対策
電池の製造
デモ機(実機)貸出あり
液体CO2・超臨界CO2には、有機物や油分に溶けやすいという無極性溶剤と似た性質があります。溶媒としての二酸化炭素の性質を利用して、基材に付着した有機系異物や炭化水素系皮膜を除去する洗浄装置が開発されるようになっています。
そして、二酸化炭素には、不燃性・毒性が無い・VOC(揮発性有機化合物)を発生しない、という性質があり環境負荷が低い溶剤という特徴があります。
最近でこそ、二酸化炭素には温室効果ガスの側面があるため否定的に見られがちですが、グリーンソルベントとしての二酸化炭素の性質は、IPAのような工業用有機溶剤に代わる低環境負荷のドライ洗浄技術に置き換わる可能性を秘めています。
CO2スノージェット洗浄装置は、二酸化炭素の物理的・熱的な性質を利用したドライ洗浄装置です。ボンベやタンクから液化炭酸ガス(液体CO2)を供給して、特殊なノズルから噴霧すると CO2スノーという微小な氷の結晶に変化して、超音速で基材表面に衝突します。すると、基材に付着していた汚染異物は、衝撃洗浄(マクロブラスト効果)・急速冷却・爆発洗浄・溶剤効果の4つの効果で洗浄されます。
CO2スノーの硬度は低いので、センサー・レンズ・ガラス・接点が基材でも、ダメージレスでドライで洗浄することが出来ます。
また、CO2スノーの低温(-78.5℃)を利用して、CNCマシンの切削加工時のクーラントに置き換える開発テーマがあります。将来の溶剤フリークーラントへの代替という低環境負荷な切削加工技術の重要な選択肢です。
◆VOCフリーのドライ洗浄技術!
◆有機溶剤フリーのドライ洗浄技術!
◆超純水や超音波洗浄のような廃液処理の問題無し!
◆超純水や超音波洗浄のような洗浄後の乾燥は不要!
◆廃液処理不要・乾燥工程不要 そして局所洗浄できるので、洗浄前後工程を含めたトータルのエネルギーコストを削減!
◆乾燥工程不要にして、一工程削減!
◆ドライ洗浄!
二酸化炭素は、常温・大気圧では気体です。ノズルから噴霧したCO2スノーの最終形態は気体になります。だから、洗浄後の二酸化炭素が液体・個体として表面に付着し続けることが無いのです。
◆ダメージレス!
ショットブラスト・サンドブラストのような個体粒子をぶつける方式とは全く異なります。CO2スノーは、基材と衝突すると瞬間的に昇華します。二酸化炭素は常温・常圧で気体なので、スノーは衝突すると たちまち昇華(一部は瞬間的に液化してから気化します)するのです。基材表面へのダメージを極めて低く洗浄できる理由です。
◆石油精錬工程の副産物の液化炭酸ガスを使用できます。
CO2スノージェット洗浄装置には、石油精錬工程の副産物として生じた液化炭酸ガスを使用します。副産物のガスを精製して、工業用に使用できるようにした液化炭酸ガスをガス会社から調達して、ユーティリティーに使用することができます。洗浄装置がノズルから二酸化炭素を噴霧していますが、環境的に中立です。
CO2スノーは、4つの効果で洗浄します。
◆衝撃洗浄
微小な氷の結晶(CO2スノー)は、ノズルから噴霧するとシールドエアで加速され、超音速で基材表面に衝突します。マイクロブラスト効果があり、表面の汚染異物を除去する効果があります。スノーは衝突すると たちまち昇華(一部は瞬間的に液化してから気化します)するので、ダメージレスです。
◆急速冷却
CO2スノーの温度は、-78.5℃です。スノーが触れると熱を奪い表面温度が低下します。この急速冷却効果により、汚染物と基材表面の境界面で収縮率の違いが生じ、表面から除去しやすくなります。
また、油の薄膜・接着剤の残渣のような皮膜状の汚染物は、急速冷却によりガラス転移点を下回ると、硬質化して脆く除去しやすくなります。
◆爆発洗浄
CO2スノーは、気体に昇華すると約600倍に膨張します。汚染異物に衝突したスノーが爆発的に膨張することで表面から除去します。
◆溶剤効果
CO2スノーは、表面に到達すると衝突の衝撃圧により、瞬間的に液化します。液体の二酸化炭素には、シクロヘキサンのような極性が低い有機物・油に溶けやすい性質があります。これが液体二酸化炭素による、VOCフリー・有機溶媒フリーの溶剤効果です。エアーブロー・除塵用ブローノズルでは除去できない有機物や油薄膜の洗浄に高い効果を発揮します。
◆自動車
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◆電子部品
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◆純銅(スパッタリングターゲット)
◆ウェーハ
粘着質なコンタミ、薄い油膜、粒子径が小さい微細な異物は、ドライで洗浄しようにも、なかなか難しいものです。
CO2スノージェット洗浄装置が、ドライ洗浄できるコンタミの例は次の通りです。
◆微小なゴミ・ホコリ
◆繊維系異物
◆フラックスの残渣
◆接着剤の残渣(例、保護フィルムを剥がした跡の薄い残留物)
◆薄い油膜の脱脂
◆有機系異物(例、皮脂等 人に起因するもの)
◆無機系異物(例、設備の駆動部・回転部から発生する微小な金属粉など)
◆切削加工時の微小バリ(例、インプラントのPEEK材加工時の微小バリ)
※洗浄効果は、用途・パラメータ等の諸条件によります。別途、ご確認をお願いします。
◆CO2スノーを噴霧してフラックスの残渣をドライ洗浄
◆「プリント基板表面・接点・はんだ」へのダメージは最小限
◆洗浄後の表面には何も残らない(ドライ洗浄!)◆IPA・超音波洗浄でなくてもフラックスは洗浄できる!
◆2本のノズルをロボットで操作
◆CO2スノー有無検知用センサー(赤)
◆CO2スノーの間欠・断続運転が簡単
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