ゲッコーウエハグリッパー(自動または手動用途のグリッパー)

基板関連

◆やもりの足裏の接着原理を応用した商品です。ファンデルワールス力という分子間力で半導体ウェーハを物理吸着します。
◆シリコンウェーハ・SiCウェーハ・GaNに適用可
◆ロボットに取り付けて自動運転するのに最適
◆ウェーハの清浄度を保持して搬送
◆クリーンルームに最適
◆圧縮エア・電気・真空ポンプ不要！
◆ノイズ・騒音ゼロ！

目的・用途

業界

自動車・搬送

電機機器

研究開発

非鉄金属

印刷・包装

電子部品・半導体

メディカル

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商品説明

ヤモリの足裏には、セタという微細な繊維がびっしり生えています。ヤモリが壁や天井を歩き回る時は、足裏を接触させて、ファンデルワールス力という分子間力で接着しています。

ゲッコーウエハグリッパーは、ヤモリの接着原理を生体模倣した商品です。
基材に軽く当てるだけでピックアップすることができます。基材へのダメージは最小限です。

接着といっても、接着剤やプライマーは使いません。分子間力による「乾式接着」の原理でくっつくのです。乾式接着した後の表面に、接着剤の残渣が残ることはなく、吸着痕や傷をつけません。リリースも簡単です。

ゲッコーウエハグリッパーが接着する時に、外的なエネルギーは不要です。バキューム力や圧縮空気のような動力源は不要なので、エネルギーコストゼロで接着・移載・ピックアンドプレースを手作業で行うことができます。

乾式接着できる基材・材質
【材質】レンズ・ガラス・セラミック・樹脂成型品・金属・フィルム・紙・箔

【基材】レンズ・ガラス基板・ウェーハ・プリント基板・コネクタ・積層セラミックコンデンサ・イメージセンサ・ガラス繊維・注射器・歯車(ギヤ)・フィルム・シート・カード・多孔質のシート

※ユーティリティー不要！
圧縮エア接続不要
真空ポンプ・バキューム源不要
電気不要
ノイズ・騒音なし

製品ラインナップ

※左右にフリックしてご覧いただけます。

型番

シリコンフリー

位置決め精度

耐熱温度(℃)

材質15

〇

34.3μm

50

材質12

〇

22.6μm

50

材質EW01

×

20.0μm

150

材質15

Y字ハンドの3点に取り付けて、加速約26.5m/s2に追従

材質12

Y字ハンドの3点に取り付けて、加速約17.5m/s2に追従

材質EW01

Y字ハンドの3点に取り付けて、加速約11.8m/s2に追従

商品特長

【ゲッコーウエハグリッパーの使い方】

◆ウェーハをカセットからピックアップする時

Y字ハンド3点に付けたゲッコーウエハグリッパーの接着面が、ウェーハ表面とほぼ平行にして近づけます。
接着部をウェーハ表面に軽く当てて、上に持ち上げるとピックアップします。

◆ウェーハをカセットへリリースする時
ウエハカセットのスロットにウェーハを乗せたハンドを挿入する。そして、ハンドを少しZ方向に降ろす。この時、ウェーハはスロットの上に乗りリリースされる。

【vs.吸着式グリッパーとの違い】

吸着式のグリッパーには、真空パッド・吸着パッドがあります。パッドを基材表面に押し当てて、パッド内の密閉空間を真空にするために、バキューム(吸引)して吸着する原理です。リリースする時は、パッド内を大気に戻して吸着力を解除します。
吸着式グリッパーは、吸着痕がつく問題がある他、バキュームするための動力源(ブロア・エジェクター・圧縮エア)が必要です。

　一方、ゲッコ―接着グリッパーのような「乾式接着」は、バキュームするためのエネルギー源はいっさい不要です。そして、吸着による痕を残しません。

【vs.ベルヌーイチャックとの違い】

ベルヌーイチャックの吸着原理は、パッドの内側表面に沿って圧縮エアをブローすることで、中心に真空を作り、基材を吸着する原理です。があります。リリースする時は、パッド内を大気に戻すために、圧縮エアを遮断して吸着力を解除します。
ベルヌーイチャックは、吸着痕がつく問題がある他、真空を生成するための動力源(圧縮機・コンプレッサー)が必要です。また、周辺に圧縮エアーをブローして微細なパーティクルを飛散させるので、クリーンルームへの適合性が低い問題があります。

　一方、ゲッコ―接着グリッパーのような「乾式接着」は、接着するためのエネルギー源はいっさい不要です。そして、吸着による痕を残しません。また、エアーブローに伴う問題は皆無です。

ゲッコーウエハグリッパーの利点

◆吸着痕・残留物を残さない<br/>◆ウェーハ表面のダメージを最小限で、優しくピックアップ<br/>◆吸着するのに、外部エネルギーは不要(バキューム・真空ポンプ・圧縮空気・クリーンエアーブロー・ブロアは不要)<br/>◆吸着に要するエネルギーコストゼロ<br/>◆フラットなウェーハだけでなく、反りがあるウェーハまで<br/>◆ノイズ・騒音ゼロ

◆吸着痕・残留物を残さない
◆ウェーハ表面のダメージを最小限で、優しくピックアップ
◆吸着するのに、外部エネルギーは不要(バキューム・真空ポンプ・圧縮空気・クリーンエアーブロー・ブロアは不要)
◆吸着に要するエネルギーコストゼロ
◆フラットなウェーハだけでなく、反りがあるウェーハまで
◆ノイズ・騒音ゼロ

吸着できる基材

【材質】シリコンウェーハ・SiC・GaN等

エンドエフェクタ(ロボットハンド)への応用

ウェーハ搬送用エンドエフェクタに、ゲッコー接着グリッパーを取り付ける応用があります。ウェーハカセットからウェーハを取出し・収納する用途では、XY方向の加速に対して、ウェ－ハが振り落とされない吸着力　と同時にカセットでの出し入れ時には、Z方向に対する弱めの吸着力が求められます。このようなニーズにお応えできるゲッコー接着グリッパーを製作できます。ウェーハの端面に触らずに移載・搬送することができます。

ゲッコーウエハグリッパー(自動または手動用途のグリッパー)