半導体・液晶・電子部品の用途に設計された バー型 高周波ACイオナイザです。
キストエシャリッヒ (KIST+ESCHERICH GmbH)
鋼材の矯正
静電気対策
電気に脆弱な電子部品・液晶、静電気破壊の恐れがある素子・IC(集積回路)・ウエハチップの静電気を中和します。
ESD(Electro Static Discharge)用途に適した高いイオンバランスの静電気除去装置です。
EC規格 61340-5-1 で定める残留電圧<35Vに準拠
最小限のクリーンエアで、イオンを広範囲へ放射します。
放電針はタングステン 交換可
6ピンM8コネクタで接続。24VDC電源供給で運転。
M4スライドナットを取付に使用します。
高圧電源ユニットを内蔵しており、外付けの電源ユニットは不要です。
■有効幅:150?~1,000mm
■制作幅の単位:50?(例.150mm,200mm,250mm,300mm,,,,900mm,950mm,1000mm)
■運転距離:20mm~200mm
■イオンバランス(オフセット電圧):<35V
■ノズルピッチ:10?
■運転エア圧:0.02~0.4MPa
■圧縮エアチューブ接続:φ8
■最大許容環境温度:55℃
■保護クラス:IP52
■重量:150mm/105g,500mm/275g,1000mm/530g
■認証:CE
■ステータス表示:LED/信号ケーブル
■最大出力電圧:±3kV
■放電針1本当りの最大電流値:80μA
■運転電圧:24VDC(21~27V)
■最大消費電流:0.5A
■必要なヒューズ:1.0AT
ウェーハチップ・ICチップをダイシングテープから移載する時の静電気除去
ICトレーの静電気除去
除塵ボックスで静電気除去
電子部品・電子デバイスの静電気除去
液晶パネル製造工程で静電気除去
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