有機EL素子は、酸素・水分に反応し、劣化しやすい性質があります。このため、有機ELデバイスを作製するためには、成膜（蒸着）から封止まで酸素・水分に曝すことなく取り扱う必要があり、グローブボックス内で作業が必要になるプロセスがあります。Inert製グローブボックスは、酸素・水分濃度が一貫して1ppm以下の雰囲気を保持することができ、有機ELデバイス作製は重要な用途の一つです。
OLED・PLEDの研究・開発用に独立型装置としてグローブボックスが用いられるほか、クラスター型またはインライン型の生産・量産用設備として導入させることもあります。
有機ELの用途では、グローブボックスを導入するデバイス作製プロセスにより、蒸着装置・シール材硬化用照射装置（UV・LED）・ディスペンサー・オーブン・インクジェットプリンターなど様々な付帯設備が必要となります。これら必要な設備をグローブボックスに接続またはボックス内に設置して、不活性ガス雰囲気下で作業を行うことができます。
〇 クラスター型・インライン型とは？
有機ELの量産装置として、主にクラスター型とインライン型があります。インライン型は専用ラインであれば生産性が高い方式です。クラスター型は搬送室を中心に蒸着装置・洗浄装置・マスクストック室・有機EL基板封止装置などが取り囲む構成になっており、クラスター間はパスボックスなどを経由して基板を受け渡すシステムです。
写真1:クラスター型有機ELデバイス製造装置にInert製グローブボックスを接続
写真右側にグローブボックスが位置しています。搬送室とグローブボックスはフランジを介して接続しており、基板を空気に曝すことなくクラスター間を出し入れします。基板を蒸着装置で成膜したあと、封止装置（グローブボックス）へ搬送して、シール材塗布・硬化・封止を一貫して酸素・水分フリーの雰囲気化で処理することができます。
量産用途では、装置のダウンタイムは生産性低下につながるので、連続運転が求められます。不活性ガス循環精製装置付きグローブボックスでは、精製筒を2筒搭載させることにより、1筒が触媒再生などによりメンテナンス中の時は、もう1台の精製筒に切り替えることにより、連続運転することができます。
写真2:クラスター型有機ELデバイス製造装置に接続するInert製グローブボックス
推奨オプション：大型ラージアンテチャンバー（大型パスボックス）、ミニアンテチャンバー、予備精製筒（連続運転用）、ドライ真空ポンプ、フィードスルー（外部機器との接続用・電源供給用）、各種機器（LED照射装置、ディスペンサー、蒸着装置など）との接続用ボックス壁加工、両面観察窓、着脱式観察窓（大型器具持込用）、顕微鏡、エラー出力、
関連情報
基板を非接触でピックアンドプレースする技術は、非接触超音波 浮上・搬送装置をご参照下さい
基板をロールtoロールまたはロールtoシートでオンラインで除塵する装置は、スタティックエアをご参照下さい
☆Innovative Technology Inc は、2015年に、ブランド再構築のため ”Inert” という新ブランドを立上げました。 ☆
