目次
Inert Corporation のグローブボックス
半導体・微細電子工学の分野でグローブボックスの用途があります
酸素＆水分濃度を１ｐｐｍ以下にする しくみ
グローブボックスのオプション
Inertのグローブボックスの特徴
関連情報
Inert Corporation のグローブボックス
不活性ガス循環精製装置付グローブボックスを世界中の大学・研究機関・製造現場へ供給している会社です。
不活性ガス循環精製装置とグローブボックスを接続したシステムを製作することができ、ボックス（密閉チャンバー）内の酸素・水分をガス循環精製装置の触媒で吸着除去しながら、高純度の不活性ガスを精製して、ボックス（密閉チャンバー）へ供給します。
これにより、高価なアルゴンガス・窒素ガスを流しっぱなしにすることなく、システムを運転することができます。
写真：PureLab-2GBグローブボックス
Inertのグローブボックスをもっと見る
半導体・微細電子工学の分野で
グローブボックスの用途があります
半導体・微細電子工学の研究開発用途にグローブボックスを製作することがでます。
デバイスの製造や試験を空気暴露しない雰囲気を提供して、研究開発をサポートします。
グローブボックスの中に、薄膜蒸着・スピンコーター・オーブン・ホットプレート・有機溶媒精製装置・ダイボンダー等の設備をセットして、独立型装置またはインライン型システムとして運用することができます。
Inertのグローブボックスをもっと見る
酸素＆水分濃度を１ｐｐｍ以下にする しくみ
Inert製グローブボックスの、ボックスの部位を真空引きして使用することはありません。
ボックス内を不活性ガスに置換するためには、まず ボックスの中に不活性ガスを入れてパージすることにより、ボックス内の空気を不活性ガス（アルゴンまたは窒素）へ置換します。
そして、十分に酸素・水分濃度が低下した段階で、外付けの精製筒（触媒が入ったカラムです）に接続して、循環精製に切り替えます。
循環精製では、ボックス内のガスを精製筒に送ります。そして、精製筒の触媒は、酸素・水分を吸着して、精製した不活性ガスをボックスへ送り返します。
このプロセスを連続で循環して行うことにより、ボックス内の酸素＆水分濃度を１ｐｐｍ以下に保持します。
Inertのグローブボックスをもっと見る
グローブボックスのオプション
| ジルコニア式酸素濃度計 | 電気化学式酸素濃度計 | |
| 水分濃度計 | 冷蔵庫（-35°） | |
| 着脱式観察窓 | フランジ各種 | |
| アンテチャンバー自動運転 | グローブ各種 | |
| 真空ポンプ | フィードスルー各種 | |
| ６インチ ミニアンテチャンバー |
２２インチ 大型アンテチャンバー |
|
| T字アンテチャンバー （２ボックス間 接続用） |
自動パージバルブ | |
| 揮発性有機溶媒溶媒 トラップ（小/大） |
連続運転用 ２連精製筒 |
|
| ドライ真空ポンプ | 真空オーブン | |
| 有機溶媒精製装置 | 顕微鏡 | |
| スピンコーター | 熱交換器 |
Inertのグローブボックスをもっと見る
Inertのグローブボックスの特徴
◆次のバルブは自動運転です：
不活性ガス供給用電磁弁、再生ガス供給用電磁弁、真空ポンプとの接続用電磁弁、精製筒（カラム）のニューマティックバルブ
◆ボックス内圧は自動制御です（フットペダルで手動操作もできます）
◆ボックス内ガス排出用パージバルブは手動が標準です。オプションで自動パージバルブも可能です。
◆ラージアンテチャンバーは手動運転が標準です。オプションでラージアンテチャンバーの自動運転も可能です。
◆精製筒（カラム）の再生は自動運転です。
◆Siemens製タッチパネル
◆高品質スウェージロック継手を採用
◆不活性ガスは、アルゴンガス または 窒素ガスを使用します
◆Inert製ボックス内の酸素＆水分濃度を１ｐｐｍ以下で保持します。
関 連 情 報
半導体ウェーハをドライ洗浄するチャレンジをみる
クリーンルーム専用集塵機｜世界初の技術で室内を綺麗にをみる
有機薄膜太陽電池 グローブボックス
リチウムイオン二次電池 グローブボックスシステム
超音波でウェーハチップを非接触で移載（動画あり）
ウェーハを超音波で非接触移載する技術
アルゴンガスをリサイクルする高エネルギー効率の循環型システム
窒素ガスをリサイクルする高エネルギー効率の循環型システム
