唯一無二の非接触搬送技術です。
超音波で基材を非接触浮上搬送するコンベヤです
目 次
|| 超音波による浮上の原理
|| 超音波浮上のメリット
|| 動画を見る
|| エア浮上テーブルとの比較
|| ゴミ・異物対策としての非接触超音波浮上テーブル
|| 主な用途
NEW! 非接触・微接触 吸引コンベヤとしての使い方
|| 関連情報
取扱商社：㈱ケー・ブラッシュ商会
超音波による浮上の原理
コンベヤをONにすると、搬送面は高周波で微振動します。コンベヤでワークを搬送する時は、微振動している搬送面と平滑なワークの間に圧縮された空気の膜が形成されます。スクイーズ膜効果の原理です。これにより、ワークは搬送面とワークの間の薄い空気層の間を浮上することができます。
スクイーズ膜効果で浮上しているワークは、無摩擦・非接触で安定して浮上します。
浮上したワークの横方向の移動には、コンベヤに設置しているガイドを使い、ワークを移動させます。
コンベヤ搬送中は、ワークの上面下面は非接触です。
超音波 非接触 浮上・搬送装置をみる
超音波による非接触浮上搬送のメリット
繊細な製品を非接触搬送することにより微小な傷やクラックを防止！
繊細な製品を非接触搬送することにより異物の付着を防止！
非接触浮上に、工場エアやクリーンエアは不要です。ユーティリティーは電源のみ。
搬送面からエアブロー・窒素ブローしません。クリーン環境に最適です。
圧縮エア源からの汚染リスクがありません。
圧縮エアのメンテナンスが不要。
超音波 非接触 浮上・搬送装置をみる
動画をみる
エア浮上テーブルとの比較
超音波による非接触浮上は、テーブルからエアブローしていません。
超音波による非接触浮上は、工場エアやコンプレッサーエアは不要です。
超音波による非接触浮上は、圧縮エアのオイルフィルターやミストトラップのメンテナンスは不要です。
超音波による非接触浮上は、エアブローからの汚染リスクが皆無です。
超音波による非接触浮上は、テーブルからエアーブローしないので、クリーン環境に最適です。
超音波による非接触浮上のユーティリティーは、電源のみ。
超音波による非接触浮上は、基板は無振動で非常に高い安定性で浮上することができます。
超音波による非接触浮上は、極薄で破損しやすいウエハーを高い歩留まりで非接触浮上搬送することができます。
ゴミ・異物対策としての非接触超音波浮上テーブル
非接触浮上搬送は、基板・ウェーハとの接触に起因する異物付着を解消することができます。
機械的なグリッパーやボールベアリングによる搬送と異なり、基板の表面・裏面は非接触です。基板の異物付着を回避して次工程へ部材を持ち込むことができます。
テーブルはエアブローしないので、エア源からの汚染リスクは皆無です。
次工程が加工プロセスであれば、加工時に付着異物による不良を回避することにつながります。次工程が外観検査であれば、付着異物による外観検査装置の誤作動を防止することにつながり、歩留まり向上につながります。
非接触超音波浮上コンベヤは、付着異物対策として大きなメリットがあります。クリーン環境での基材のハンドリングに最適な技術です。
主な用途
表面が平滑な製品(フラットな製品）を搬送します。
写真：PVウェーハを非接触浮上搬送
写真：ソーラーウェーハを非接触浮上搬送
非接触・微接触 吸引コンベヤとしての使い方
従来の吸引・吸着コンベヤは、穴を加工したポーラス状の搬送面を製作して、バキュームで穴から吸引することで、薄いフィルム・シート・箔を定着させて、搬送を行うものでした。
従来の吸引・吸着コンベヤは、シートと搬送面は接触することが前提でした。
一方、
超音波によるスクイーズ膜浮上の原理を応用すると、非接触または微接触の 吸引・吸着コンベヤを設計することが出来ます。
超音波 吸着コンベヤは、穴を加工してポーラス状の搬送面にします。穴はバキュームによる吸引を行うためです。そして、搬送面は超音波の振動を伝える振動板としての役割があり、スクイーズ膜浮上効果による空気の反発力を形成させます。
これにより、シートは 穴から吸引力で搬送面に吸着されますが、振動板の空気層の反発力により非接触・微接触で定着することが出来ます。
写真：リチウムイオン二次電池用電極箔（集電タブ付き）
振動板の穴は吸着・定着用に使用でき、非接触 吸着コンベヤにします。
写真：穴加工した振動板／シートを非接触 吸着搬送
吸引・吸着しながら非接触浮上できる基材は、ウェーハ・ガラス基板のような平坦度が高い基板です。搬送面との物理的な接触を回避して、振動板の加圧された空気層の反発力で浮上しながら吸引バキューム力で、搬送面に定着させることが出来ます。
その他、薄い 枚葉フィルム・樹脂シート・箔・電極に対しては、平坦度は低いので、微接触（条件により非接触）で吸引・吸着が出来ます。固さが無い 基材に対して吸引バキューム力は、「しわ」「反り」を平らにならしながら、加圧された空気層の反発力で浮上させる効果があります。
関 連 情 報
非接触搬送で基材の熱を保温をみる
電池用金属電極を非接触浮上・搬送をみる
超音波 非接触 搬送技術を検査工程へ応用をみる
電池用電極箔を超音波非接触チャックをみる
