精密機器やデバイスの小型化・薄膜化が進む中、検査工程での「基材へのダメージ」が大きな課題となっています。
本記事では、ドイツの大手検査機メーカーも採用している、ZS-Handling Technologie社（ドイツ）の非接触・超音波浮上テーブルをご紹介します。
なぜ「非接触」が選ばれるのか？
フィルム・シート・薄膜ガラスといった繊細なワークは、従来の搬送・固定方法では次のリスクがあります。
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物理的ダメージ: 擦り傷、欠け、破損
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品質低下: パーティクルやコンタミの付着、静電気の発生
これらのリスクを根本から排除するのが、超音波による非接触 浮上 技術です。
検査装置に最適な「圧倒的な安定性」
ZS-Handling社の技術は、単に浮かせるだけではありません。検査工程において最も重要な「カメラのピント（焦点）」の安定に寄与します。
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極めて高い平坦度: 浮上中のワークの上下振れ（面振れ）が最小限に抑えられます。
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ピンボケ防止: フィルム・シート・ガラスが安定して浮上するため、高精度カメラによる外観検査でもピンボケのリスクを最小化。歩留まりの向上に直結します。
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クリーンな環境: エアー噴出をしないため、クリーンルーム内での乱気流やゴミの巻き上げがありません。
まとめ：次世代の検査スタンダードへ
超音波で微振動するテーブル上に、フラットなシート・ガラスを浮上させる技術「スクイーズ膜効果」は、ZS-Handling社が装置化して、工場の生産用途に適用できるよう装置化しました。
「触れずに検査する」ことは、もはや特殊な手法ではなく、非接触・超音波浮上テーブル を 検査装置の要素技術として、ご検討頂ける技術になっています。
キズやコンタミによるロスを削減し、検査精度を一段階引き上げたいとお考えの担当者様は、ぜひ一度お問い合わせください。
動画：ガラス基板 非接触浮上・非接触吸着
超音波 非接触 浮上のメリット
◆超音波 非接触浮上 テーブルは、エアーブローしません。クリーンルームに最適です。
◆エアーブローによるパーティクルの飛散や、エア汚染のリスクを回避し、基材の清浄度を保持します。
◆繊細なガラス・フィルムに対して「非接触」！擦り傷・かける・破損リスクが最小限。
◆歩留まり向上につながる技術です。
◆浮上中、工程差は非常に安定しています。
◆テーブルは、電源だけで動作します。
◆メンテナンスフリーです。万が一、テーブルにゴミが付いた時は、クリーンワイパー等で拭き取って下さい。
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