AcXys（アクシス）社とは？
2000年に設立されたフランスのグルノーブル市に拠点を置くプラズマ専用メーカーです。
大気圧プラズマ処理機を用いた表面改質装置そしてカスタマイズ設備を製造販売しております。
プラズマCVDを大気圧で！大気圧CVDのメリット
通常は大型の真空設備を用いて行っているSiO2の製膜を大気圧で、しかも簡単に行えます。
アクシス社のプラズマコーティング装置ULCを用いることで少量多品種やR&Dなど、今まで大型設備を用いた製膜が簡単に行えます。
大型真空設備は量産性に優れた処理方法ですが小ロッドや条件変更など小回りが利かないことがデメリットでした。
ULCは真空設備の量産性には敵いませんが大気圧のメリットを生かして様々な形状、材料、条件で製膜を行うことができます。
ULCのメリット
・コーティング対象の材質を問わない（樹脂でも金属でも様々な材料に製膜可能です。）
・様々な形状の材料に製膜ができる。（フラットな表面でも凹凸がある面でもロボットにノズルを持たせることで製膜が可能です。）
・条件変更がすぐにできる。（処理速度や製膜レートなどの変更が簡単に行えるので様々なコンディションの製膜が可能です。）
大気圧プラズマコーティング装置 ULCの特徴
大気圧プラズマ処理機ULSと組み合わせることで様々な材料にSiO2を吹き付けることが出来ます。
塗布量を設定するだけで簡単に使用することが出来ます。
埋め込みよりコーティングの動画をご覧いただけます。（シリコンウェハの上に成膜）
ULCの用途
ULCを用いたSiO2コーティングの主な用途として：
・バリア膜
・接着膜
・表面の非粘着化
などが挙げられます。
弊社にデモ機がありコーティングのサンプル作り承ります。
お気軽にお声がけください。
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