お客様の課題
パターニングは、レーザーで基板に直接回路パターンを精密描画する加工方法です。薄膜太陽電池の基本部材には、機能性材料の薄膜を積層したガラス基板が使われています。昨今の薄膜太陽電池の製造プロセスにおいて、積層を行う工程では、回路パターンを描画するためにレーザーパターニングが行われています。しかし、レーザーで蒸散して薄膜を除去すると、膜やヒュームが発塵し、スプラッシュ（飛び散り）により基板にダメージを与える原因になります。レーザーパターニングでは、このような微小パーティクルの発塵や再付着に対して対策を施さなければなりません。
解決策
写真：ガラス基板の下をレーザー加工：スタティックエアをガラスの上に設置して除塵
非接触式ウェブクリーナー スタティックエアは、静電気除去バーを搭載してます。ガラス基板を介してレーザー照射部とは反対側に設置します。スタティックエアの強力な除電能力とフラットジェットノズルからのエアーブローにより、レーザーで飛び散るパーティクルを吸引して、別置きの集塵機で捕集します。
スタティックエアは、ダクトホースを介して集塵機に接続しています。ヒューム・煙り状微粒子・蒸散物を吸引除去する集塵システムです。
運転データ
□機材: ガラス
□圧縮エア： 0.5-0.8 kgf/cm2
□システム： スタティックエア、吸引・制御ユニットESUC
※集塵機のフィルターは、用途により活性炭フィルター・ゼオライトフィルター等を選定します。
下の写真をクリックして、スタティックエアの除塵の原理を動画でご視聴いただけます。
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