「水を使わない乾式洗浄」ウェーハを洗浄してみました
実験に使用した装置は、ジェットステーションです。ジェットステーションは、グローブボックスのような密閉チャンバーの中で、CO2スノーの洗浄ができるシステムです。
チャンバー内には、ノズルが設置されてます。ウェーハを手で持ち 手作業でテスト洗浄してみました。
テスト場所は、ドイツ ACP systems AG 社のテクニカルセンターです。
この動画撮影の仕事、旅費と人件費けっこうかけてます！
動画：実際にウェーハをドライ洗浄する様子を見てみましょう
動画を解説
特別に設計された二層ノズルです。液体二酸化炭素を液相する流路と、ドライ圧縮エアを配送する流路が完全に分かれています。CO2は液体の状態でノズルまで来て吹き出します。
配管の途中で、二酸化炭素と空気を混ぜてしまうとどうなるでしょう？
二酸化炭素の温度が急低下して、個体(ドライアイス)になります。
配管内を個体のドライアイスを配送すると、配管が傷つきます（メンテナンスの手間が発生！）
配管が冷たくなると、結露のリスク！
でも、ＡＣＰ社のノズルと配管であれば、こんな心配はないんですね。
配管を傷つけず、CO2を温調しながらノズルまで持ってくる「液送技術」を感じます。
動画では、光を当てて コンタミを見やすくしています。CO2スノーをコンタミに当てると綺麗に洗浄できています。
コンタミを除去した後の表面は、きれいで傷が無い！水滴もない！これなら、次工程の「乾燥」を不要にできそうです！
クリーンルームに最適化
ACP社が設計したジェットステーションは、クリーンルーム用途にも最適化しています。
ドイツ現地では、展示会セミコンヨーロッパにも出店して、半導体・電子部品用途に積極的にＰＲしています。
ジェットステーションは、ステンレスのハウジングです。密閉チャンバーは遮音性が良く、ノイズを嫌うクリーンルーム用途でもこの点はクリアできそうです。
ノズルから噴霧した二酸化炭素・コンタミは、ジェットステーションの床から吸い出して局所排気します。室内に飛散させません。
CO2スノー洗浄装置をクリーンルームに持ち込める！
CO2スノー洗浄装置の洗浄力があることは知ってても、一般環境での運用が殆どだったのではないでしょうか？
防音・周囲への飛散を考慮して設計されたジェットステーションは、一般環境～クリーンルームにも適用できるユニークなドライ洗浄装置です。
お気軽にお問い合わせください
ジェットステーション・CO2スノージェット洗浄装置にご興味がございましたら、どうぞお気軽にお問い合わせください。
ケー・ブラッシュ商会の係員が、WEBまたはお客様の工場に出張してのお打ち合わせを随時行っております。
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