ウェーハのハンドリングを行うロボットのハンドとして、非接触超音波 浮上・搬送装置を搭載する応用があります。非接触超音波 浮上・搬送装置のソノトロード（高周波振動することにより周囲のガスを圧縮拡散するパーツです）の表面がウェーハを無振動・無摩擦でハンドリングします。非接触なので接触によるウェーハへの汚染を回避することにつながり、ウェーハの清浄度を保持してハンドリングできます。また、搬送中にウェーハには余分な負荷がかかりません。ウェーハの破損率を下げ・高い歩留まりに貢献します。
動画は、非接触超音波 浮上・搬送装置がウェーハをカセットで出し入れしている動画です。（上の写真をクリックするとYou tubeで動画を視聴できます）ソノトロード（高周波振動することにより周囲のガスを圧縮拡散するパーツです）の部材にガラスを採用しているシステムで、ウェーハの下の透明な部分がソノトロードです。その上に、ガスフィルムが形成されウェーハは非接触で浮上しています。ウェーハサイズ2インチ～18インチ（50mm～450mm）に対応でき、厚さ50μmの極薄ウェーハをハンドリングすることも出来ます。圧縮エアによるエア浮上とは全くことなる原理で浮上しており、周囲にエアブローによる気流はありません。
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