目次
超音波を適用した非接触浮上のしくみ
動画:
ガラス基板を非接触浮上
シリコンウェーハを非接触浮上
動画:非接触浮上＋横方向へ搬送
非接触だから異物・コンタミが付着するリスクは最小限！
破損・擦り傷のリスクを低減できる理由
関連情報
超音波を適用した非接触浮上のしくみ
枚葉シート・基板を搬送する搬送部は、超音波で微振動する振動板になってます。
装置を「ON」にすると、振動します。
枚葉シートを乗せた振動板は、シートと振動板の間の空気を加圧して、空気の膜を生成することができます。「スクイーズ膜効果」といいます。
超音波が生成する「スクイーズ膜効果」の空気膜の反発力でウェーハを押し返し、浮上することができます。
超音波浮上LEVIテーブルをみる
動画:
超音波で振動する振動板とフラットな基材の間の空気を「スクイーズ膜効果」で加圧して、浮上させる動画です。
ガラス基板を非接触浮上
シリコンウェーハを非接触浮上
ガラス基板もシリコンウェーハも、振動せずに 極めて高い安定性で浮上しています。
スクイーズ膜効果によるエアフィルムが、振動を吸収するサスペンションのようです。ガラス基板・シリコンウェーハは、エアフィルムの上で安定して浮上しています。
薄板ガラス・薄いウェーハ、枚葉フィルム・シートにも適用できる技術です。
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動画:非接触浮上＋横方向へ搬送
ガラス基板・ウェーハ・シートを超音波で振動する振動板上で非接触浮上しながら、横方向へ搬送するシステムの動画です。
動画を解説：
◆最初に、ガラス基板を非接触浮上しながら横方向へ搬送する動画がでてきます。搬送経路のスリット上下に光源とセンサーを設置して外観検査を行ってます。
ガラス基板を「非接触浮上搬送＋外観検査」
◆次に、四角いウェーハをガラス製振動板の上を非接触浮上しながら横方向へ搬送する動画がでてきます。ガラス製振動板は光が透過するので、ガラス振動板の下に光源を設置して、外観検査ができます。
ウェーハを「非接触浮上搬送＋外観検査」
◆非常に安定した高低差で浮上搬送できるので、光を当ててもピンボケせず外観検査ができます。
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非接触だから異物・コンタミが付着するリスクは最小限！
1．ローラーコンベヤで、ガラス基板や枚葉フィルムを接触しながら流すと、振動したり 接触面からの異物・コンタミ・粉塵 が転写するリスクがありますが、
一方、超音波による非接触浮上搬送なら、「接触に起因する異物の転写」を回避することができます。
2.ベルヌーイチャックのようにエアーブローしない！
→エアーからの汚染リスクが無い
3．エアーをテーブルから吹き上げて浮上させるのとは、全く異なる原理です！
→クリーンルームに浮遊している小さなホコリ・チリ・パーティクルを飛散させない！
4．圧縮エア・コンプレッサーは不要！超低ランニングコスト！超低エネルギーコスト！
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破損・擦り傷のリスクを低減できる理由
1．非接触だから！→接触に起因する破損・擦り傷のリスクを回避！
2．非常に高い高低差で浮上できる！
→割れ・ひび・破損を回避！
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