目次
ボンディングパッド電極をCO2スノーでドライ洗浄
CO2スノー洗浄効果 写真で検証
CO2スノージェット洗浄装置のメリット
CO2スノーの洗浄のメカニズム
他のドライ洗浄方法との比較
関 連 情 報
CO2スノージェット洗浄装置 関連
ドライクリーナー・除塵装置 関連
プラズマクリーナー 関連
非接触チャック 関連
ボンディングパッド電極をCO2スノーでドライ洗浄
CO2スノージェット洗浄装置は、ボンベまたはタンクの液化炭酸ガスを使って、特殊なノズルから結晶化した二酸化炭素の結晶を放射して、基板をドライ洗浄する技術です。
ボンディングパッド電極のフラックス残渣を、CO2スノーの洗浄効果でドライ洗浄する使い方があります。
従来のような、溶媒のフラックス洗浄溶液とは全くことなる洗浄方法です。
CO2スノーは、揮発性有機溶媒を一切使用しません。
CO2スノーで洗浄後は、ドライなので、パッド電極に水滴を残さずにクリーニングします。乾燥は不要です。
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CO2スノー洗浄効果 写真で検証
写真：
CO2スノーでボンディングパッド電極をドライ洗浄
マスキング有り
局所ドライ洗浄ができます
洗浄が必要な部位だけCO2スノーをブラストするためにマスキングしています。
CO2スノーの洗浄は、局所洗浄が可能です。
ロボットでノズルを操作して、洗浄を自動化できます。
写真：
ビフォーアフター比較
 ドライ洗浄前 |
 ドライ洗浄後 |
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CO2スノージェット洗浄装置のメリット
CO2スノージェット洗浄装置は、ブラストメディアとして液化炭酸ガスを使用します。二酸化炭素の物理的・化学的・熱的な力を利用して、ドライ洗浄します。
洗浄装置のノズルから噴霧するCO2スノーは、毒性が無く 不燃性です。CO2スノージェット洗浄で、ボンディングパッド電極のフラックス残渣をドライ洗浄するのに適しています。
ノズルから噴霧された液化炭酸ガスは、表面に衝突すると昇華します。これにより、表面の汚染物や小さな微粒子は冷やされて脆化して、昇華の力で表面から取り除かれます。この洗浄はフラックス残渣にも高い効果を発揮します。CO2スノーの硬度はとても小さいので、ワイヤーボンディング接合部や母材のPCBをダメージレスでドライ洗浄することができます。
CO2スノーで洗浄後の表面はドライに仕上がります。水滴や結露が無いので、洗浄後に乾燥工程は不要です。
超音波洗浄や有機溶媒を使用する湿式ウェット洗浄とも異なりますので、液体の循環精製や廃液処理の問題は皆無です。
ACP systems AG 社が開発したドライ洗浄技術は、自動化ラインにも適しています。CO2を放射するノズルをロボットで操作して、ボンディングパッド電極部だけを局所的にドライ洗浄する使用方法が可能です。ロボットがCO2のノズルを運転するスペースだけが洗浄エリアになりますので、ボンディングパッド電極 洗浄工程が小スペース化します。
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CO2スノーの洗浄のメカニズム
1 CO2スノーの衝撃で洗浄
ノズルから噴霧して結晶化した二酸化炭素スノーを、加速させて基材に衝突することにより、マイクロブラスト効果があります。
2 急速冷却
約-78℃の低温のCO2スノーが汚染物を急速冷却して、もろくします（脆化）。
3 CO2スノーの膨張エネルギーで洗浄
昇華によりCO2の体積が600～800倍に膨張。膨張する時のエネルギーで表面を洗浄します。
4 溶剤効果
シクロヘキサンと同等の溶剤効果で表面を洗浄します。
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他のドライ洗浄方法との比較
＜溶剤（炭化水素）との比較＞
炭化水素系溶剤でフラックスを洗浄した後は、乾燥させる必要があります。洗浄用の容器に洗浄液を常に準備します。洗浄液はモニタリングして、フラックスで汚れたら交換します。リンス後の廃液処理や作業負担が発生します。
一方、CO2スノードライ洗浄装置は、洗浄後の表面はドライに仕上がるので、乾燥は不要です。有機溶剤を使用せずドライ洗浄できます。
＜ドライアイスブラストとの比較＞
ドライアイスブラストでは、噴霧する氷の粒の衝撃が大きいので基材へのダメージを考慮する必要があります。ブラストの圧力を絞ると、今後はブラストの再現性を制御するのが難しくなるので、連続運転で基板を自動で洗浄するとなると、歩留まりの問題が大きくなります。
CO2スノージェット洗浄装置は、ユーティリティーにドライアイスを使用しません。ドライアイスの保守管理の手間は無く、使用するタイミングでドライアイスを発注するような手間はありません。
CO2スノージェット洗浄装置は、ユーティリティーに液化炭酸ガスを使用します。ボンベ（サイホン式）またはタンクです。
ACP社が開発した液体CO2のハンドリング技術で、ノズルから噴霧する CO2スノーは高い再現性があります。製造ラインで基板のような電子部品の洗浄の自動化に最適です。
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関 連 情 報
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