目次
ウェーハをインライン検査する画期的な技術とは
石英ガラスの振動板がウェーハを非接触浮上する原理
石英ガラスの下にカメラをセット
写真：ウェーハを非接触搬送＆インライン検査
動画：ウェーハを非接触搬送＆インライン検査
メリット
エアー浮上テーブルとの比較
関連情報
取扱代理店：㈱ケー・ブラッシュ商会
ウェーハをインライン検査する画期的な技術とは
透明な石英ガラス（クオーツ）製の搬送面を使ってウェーハを搬送します。
石英ガラスの搬送面の上にウェーハを乗せると、ウェーハの裏面をガラス越しに観察することができます。
石英ガラスの搬送面は、超音波で微振動させて スクイーズ膜浮上効果で、ウェーハを非接触浮上させます。
この状態で、ガラス面上を非接触浮上するウェーハの上面・下面にカメラを設置すれば、ウェーハを非接触浮上走行させながら、インライン検査する用途に応用することができます。
非接触超音波浮上・非接触吸着をみる
石英ガラスの振動板がウェーハを非接触浮上する原理
石英ガラスの振動板（ソノトロード）を超音波で微振動させます。
振動板とウェーハの間に、スクイーズ膜を形成します。スクイーズ膜は圧縮された空気膜で、ウェーハを浮上させる反発力になります。
スクイーズ膜でウェーハを浮上させるのに、エアーブローや窒素ガスでブローさせる必要はありません。生産環境中の空気やガスだけを用いてウェーハを浮上させる反発力にしています。
スクイーズ膜効果で浮上したウェーハは、高低差が非常に安定して浮上することができます。薄く 割れやすいウェーハにかかる負荷を最小限にして非接触浮上することができます。
非接触超音波浮上・非接触吸着をみる
石英ガラスの下にカメラをセット
石英ガラスの振動板でウェーハを非接触浮上させます。
石英ガラスの下にカメラをセット。
石英ガラス振動板上を走行するウェーハの裏面をインライン検査します。
カメラをウェーハの下側・上・斜めの位置にセットすることができるので、いろいろな角度から検査できるような設計の自由度が増えます。
非接触超音波浮上・非接触吸着をみる
写真：ウェーハを非接触搬送＆インライン検査
実際の製造現場に導入された写真です。透明の石英ガラス振動板の上をウェーハが非接触で浮上しながら走行しています。
ガラスの下に設置したカメラが、ウェーハの裏面をインライン検査します。
動画：ウェーハを非接触搬送＆インライン検査
超音波 非接触浮上のメリット
◆石英ガラスの振動板はエアーブローせずにウェーハを浮上！
◆エアーブロー・窒素ブロー不要なのでクリーンルームにパーティクルを飛散させません！
◆ウェーハは高い安定性で浮上！
◆非接触浮上搬送なので接触に起因する異物転写リスクを回避！
◆非接触なのでウェーハの破損・傷のリスクを低減！
◆ウェーハを反転せずに裏面をインライン検査！
◆インラインでウェーハ全量検査！
非接触超音波浮上・非接触吸着をみる
エアー浮上テーブルとの比較
超音波による非接触浮上は、テーブルからエアーブローしていません。
超音波による非接触浮上は、工場エアやコンプレッサーエアは不要です。
超音波による非接触浮上は、圧縮エアのオイルフィルターやミストトラップのメンテナンスは不要です。
超音波による非接触浮上は、エアーブローからの汚染リスクが皆無です。
超音波による非接触浮上は、テーブルからエアーブローしないので、クリーン環境に最適です。
超音波による非接触浮上のユーティリティーは、電源のみ。
超音波による非接触浮上は、基板は無振動で非常に高い安定性で浮上することができます。
超音波による非接触浮上は、極薄で破損しやすいウエハーを高い歩留まりで非接触浮上搬送することができます。
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