ウエハチップを非接触で吸着・移載するコレット

目次

ウェーハチップを非接触で吸着する原理

ウェーハチップを非接触で移載する「マイクロLEVIグリッパー」

ウェーハチップをロボットでピックアンドプレースする動画

マイクロLEVIグリッパーで移載するメリット

ベルヌーイチャックとの比較

関連情報
　　　　　　　　　　　　　　
取扱代理店：㈱ケー・ブラッシュ商会

ウェーハチップを非接触で吸着する原理

ウェーハチップを吸着するためのチャック部（コレット）は、負圧（バキューム力）でチップの引き寄せます。

同時に、ウェーハチップを吸着するためのチャック部（コレット）は、運転中は超音波で微振動しています。

振動するコレットとウェーハチップの間には、スクイーズ膜効果によるエアフィルムが形成され、ウェーハチップを押し返す反発力になります。

つまり、チャック部（コレット）は、負圧（バキューム力）でウェーハチップを引き寄せると同時に、エアフィルムの反発力で非接触で把持した状態になります。

これが、ウェーハチップを非接触でチャックできる原理です。




マイクロLEVIグリッパーをみる

ウェーハチップを非接触で移載する
「マイクロLEVIグリッパー」

マイクロLEVIグリッパーは、ウェーハチップを非接触でピックアップして所定の場所まで搬送してリリースするためのハンドです。

ウェーハチップを吸着するためのチャック部には、超音波で微振動するコレットを装着しており、ウェーハチップを非接触で吸着することができます。

マイクロLEVIグリッパーをロボットに持たせて、チップを移載するハンドにして使用することができます。




マイクロLEVIグリッパーをみる

ウェーハチップをロボットでピックアンドプレースする動画

動画を解説！

ロボットは、超音波で微振動するコレットを吸着部に装着しています。

ウエハチップをバキューム力で引き寄せると同時に、超音波が生成する反発力で非接触にしたまま、ピックアップします。

端面にガイドを付けてませんが、90°反転しても落下しません。非接触でセンタリングされてるためです。

ウエハチップの上下だけでなく、端面も非接触にすることができ、接触に起因するコンタミの転写を回避します。

ベルヌーイチャックのようにエアーブローしないので、エアーに起因する様々な問題を回避することができます。


マイクロLEVIグリッパーをみる

マイクロLEVIグリッパーで移載するメリット

◆ウェーハチップを非接触で移載！

◆ウェーハチップに加わる力は最小限！

◆ウェーハチップを非接触チャックして傷やクラックを防止！

◆クリーンルームでエアーブローせずにウェーハチップをチャック！

◆エアーブロー・窒素ブローでパーティクルを飛散させません！

◆ウェーハを非接触チャックして異物の付着を防止！

◆圧縮エアー源からの汚染リスクを回避！

◆圧縮エアーのメンテナンスが不要。


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ベルヌーイチャックとの比較

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