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クリーンルーム専用集塵機!世界初の技術で室内を綺麗に

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クリーンルーム専用集塵機!世界初の技術で室内を綺麗に
 

目次


世界初!コンタミネーションフリーフィルターチェンジシステム

動画で見る!コンタミネーションフリーフィルターチェンジシステム

集塵機CRシリーズの機器構成

気密性を確認できる うれしい機能

低ノイズ!低騒音!

集塵機CRシリーズの特徴

技術データ

主な用途

集塵ノズル・クリーナーヘッドと接続する用途

関連情報






世界初!コンタミネーションフリー
フィルターチェンジシステム



コンタミネーションフリーフィルターチェンジシステムは、集塵機のフィルターを交換する時に

◆フィルターの中の微細なゴミが外に出てしまう
◆ホースの中に残ったパーティクルが外に出てしまう

こうした問題を解決するために設計された技術です。

クリーンルームの中で、集塵機のフィルター交換しても、パーティクルの飛散を防止し、生産環境を防塵したままフィルター交換を可能にした技術です。

これにより!

◆クリーンルームの中でフィルター交換作業をしても、クリーンルームの清浄度を保持したまま作業することができます。

◆集塵機のフィルターを交換するために、わざわざクリーンルームの室外に搬出して交換作業している場合には、集塵機CRシリーズに置き換えることにより、フィルター交換作業が格段に効率化します。

集塵機CRシリーズは、クリーンルームの厳しい要求に適合するように設計された集塵機です。

crmini.png

クリーンルーム専用 集塵機 CRシリーズの詳細をみる



動画で見る!コンタミネーションフリー
フィルターチェンジシステム



集塵機 CRシリーズ は、特別な技術 ”コンタミネーションフリーフィルターチェンジ” により、集塵機のフィルターを交換する時に、パーティクルが飛散するリスクを回避して 作業すること可能にしました。

次の動画で、フィルター交換手順をご視聴いただく事が出来ます(Vimeo)

How do I change filter of the extraction system CR-GL265? from TBH GmbH on Vimeo.




コンタミネーションフリーフィルターチェンジの交換手順では、

ダクトホースと集塵機の吸引管の接続を取り外しても、それぞれ防塵されています。

ダクトホース側からのパーティクルの飛散を回避できています。

そして、集塵機の筐体を開けて フィルターカセットを交換する作業の時もフィルターカセットはしっかり防塵されてます。

それぞれ防塵したまま、新しいフィルターに交換して、運転できる状態に戻すことができます。

このフィルター交換手順であれば、クリーンルーム内でフィルターカセットを交換しても、室内の清浄度を保持したまま交換作業を行うことができます。


decoupling1.pngフィルターモジュールに、吸引管と筒状フィルムが付いてます
 


decoupling2.png吸引管の接続を外して筒状フィルムを伸ばします




decoupling3.png セーフシールクリップで筒状フィルムを切断し、ダクトホースとフィルターからのパーティクル飛散を防止します。

➡そして、フィルター交換作業に進みます。


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集塵機CRシリーズの機器構成

 

CR1.png

1)吸引管・筒状フィルム付フィルターモジュール
2)着脱式の蓋
3)シール用パッキン(交換可)
5)ポリスフィルター(H14グレードHEPAフィルター/オプション)
6)フィルター下の確認用ランス(オプション)
7)モーターモジュール


CR2.png
8)過圧測定によるフィルター気密性テスト
9)フィルター下の粒子測定ランス


CR3.png
4)測定プローブ取付用 認定用モジュール(オプション)
10)排気側での粒子測定


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気密性を確認できる うれしい機能

 

作業者がフィルター交換した後、集塵機が吸引した微細なゴミ・ホコリは、すべてフィルターで濾過されてるのでしょうか?

フィルターが きちんとセットされずに、集塵機の筐体と セットしたフィルターの間に隙間があると、隙間を通過するゴミ・ホコリは、フィルターで濾過されずに集塵機の後ろ(排気側)へ送られることになります。

これでは、集塵機の排気からは、濾過されなかった微粒子が排出されてることになります。集塵機が濾した空気をクリーンルーム内に戻す方法で運用している現場では、これは危険な状態です。

このような危険を解決するために。

クリーンルーム専用集塵機CRシリーズでは、フィルターを交換した後、集塵機の筐体内に圧縮エアで加圧して、フィルターがリークタイトでセットされているか確認する機能があります。

これにより、吸引したパーティクルがフィルターを介さずに排気されるリスクを回避することができます。


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低ノイズ!低騒音!


ノイズ低減ファン搭載して、

騒音値55dBを実現しました!ノイズにシビアなクリーンルームに最適です!

集塵機としての高い、吸引・集塵能力を確保したまま 静音性を実現しました。


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集塵機CRシリーズの特徴


◆集塵機のフィルター交換作業の時に、フィルター内のパーティクルが生産環境に飛散しない特別な機構になっています。

◆クリーンルーム内でフィルター交換しても室内の清浄度を維持することができます。

◆フィルター交換のため、集塵機を丸ごと室外へ搬出する作業を削減でき、作業効率UP!

◆集塵機に新しいフィルターをセットした後、作業者が集塵システムの気密性を点検できる機構になっています。これにより、吸込み口から吸引したパーティクルが、フィルターを通さずに室内へ排出されるリスクを回避することができます。

◆集塵機のハウジングはステンレススチール製です。

◆ISOクラスに応じたクリーンルーム対応の集塵システムを設計

◆ノイズ低減ファン搭載!騒音値55dBを実現しました!ノイズにシビアなクリーンルームに最適!

◆クリーンルームのISOクラス または 吸引物質の潜在的危険性を考慮して、適した集塵システムとフィルターを決定します。

◆様々な汚染物質の粒子を吸引して、安全な作業環境を保持します。

・微細な粉塵・パーティクルを集塵
・ヒューム・ガス状汚染物質に対してモレキュラーシーブスで捕集!
・吸引したエアは、フィルターを介して室内に戻す、または排気ダクトへ接続
・活性炭顆粒で高い吸着力(オプション)

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技術データ


集塵機型式:CR-GL 265

最大風量(圧損フリー):5.83m3/min
有効風量(m3/min):1.6~5
最大静圧(Pa):6000
電源電圧(VAC):100~240
周波数(Hz):50/60
モーター出力(kW):0.6
ノイズ:(dB(A)):約55
シリアルインターフェース(Sub-D):25-ピン
重量(㎏):70
寸法(高さmm):725(チューブ無し)/1100(チューブ有)
寸法(幅x深さmm):350x710
吸込み口(吸引ソケット):選択可
ハウジング:ステンレススチール
保護クラス:IP65


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主な用途


◆電子部品・半導体
 電子部品の製造現場では、半導体の特性を調整するために、ヒ素・リン酸のような有害な物質を取り扱うことがあります。
 ウエハチップ・マイクロチップの不純物・汚染物質を洗浄するために有機溶媒を使用することがあります。
 適したフィルターを選定して集塵機にセットして運用します。

◆ガラス・レンズ
 酸洗工程で、すずの塩化物、チタンの塩化物を含んだヒュームが発生することがあります。人体に有害なヒュームは、必ず吸引除去する必要があります。

◆レーザー加工

 レーザー加工で発生する微細な粉塵・ヒューム・ガス状汚染物

◆はんだ付け
 はんだ付けは、人体に有害な煙・ヒュームを放出します。集塵機の活性炭/フィルターで捕集する用途があります。

◆溶接・研削・切断

 溶接・研削・切断で発生する溶接スモーク・微細な粉塵を集塵機のフィルターで捕集。

◆繊維業界
 生産環境中に浮遊している微細な繊維クズ・ホコリ。化学薬品で着色した繊維は、人体に有害な事もあり、集塵機で吸引・捕集する用途があります。

◆樹脂・プラスチック
樹脂製品やプラスチックを取り扱う作業現場で、研削粉塵と煙を集塵機で吸引し、フィルターでろ過。

◆充填・詰め替え・包装工程

 充填工程や詰め替え工程のように、原料をある場所から異なる場所へ移すと、微細な粉塵やパーティクルが飛散することがあります。数十ミクロンからそれ以下の肉眼で見えないような粒子もあります。このようなパーティクルのリスクを過小評価してはいけません。生産環境に飛散した微小なパーティクルを集塵する使い方があります。

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集塵ノズル・クリーナーヘッドと接続


非接触式 ウェブクリーナースタティックエア (狭幅) と接続

接触式 ウェブクリーナー ロータークリーン (狭幅)と接続

3D クリーナー タイフンクリーン (狭幅)と接続

手持ち式 除塵ピストル エレファントと接続

◆その他、集塵用アーム・ダクトホースと接続する使い方があります

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