ウェーハに触れずに高清浄度を保持！歩留まり向上に貢献！
目次
非接触チャックテーブルの目的
非接触チャックテーブルのアニメーション動画
非接触チャックテーブル 実機動画
非接触チャックテーブルのメリット
関連情報
非接触チャックテーブルの目的
チャックテーブルとは、半導体製造工程で、ウェーハのような薄くて繊細なワークピースを固定するためのステージです。
チャックテーブルと言えば、通常 「接触式」つまり ウェーハに接触しながら固定する方式が主流です。例えば、真空パッド・真空吸着式チャックテーブルや、機械式チャックテーブルです。
しかし、これら「接触式」には、ウェーハに触れることに伴う弊害がいくつかあります。
一つは、真空吸着式チャックテーブルは、ウェーハを吸着すると ウェーハに局所的な力が加わるため、ウェーハの変形・破損 或いは ウェーハに吸着痕が付く可能性があります。また、最近の動向では、ウェーハの裏面も繊細なので、裏面も出来る限り 接触しない方が望ましいニーズがあります。真空吸着式チャックテーブルでも機械式チャックテーブルでも、裏面に触れずにチャックすることはできません。
ZS-Handling社が開発した、「LEVIチャック」は、超音波と吸引力を組み合わせて、ウェーハを非接触浮上しながら同時に吸引するチャックステージです。
LEVIチャックの最大のメリットは、薄く繊細なウェーハに対して、表裏両面にかける負荷を最小限にして非接触吸着できる事です。
超音波が振動するステージとウェーハの間に スクイーズ膜効果で生成するエアフィルムによる反発力が、ウェーハを非接触浮上させる反発力になり、
同時に、ステージがバキュームすることで、ウェーハを非接触吸着することが可能になります。
これが、非接触チャックステージ「LEVIチャック」の技術が革新的な理由です。
非接触チャックテーブルのアニメーション動画
動画を解説：
カセットのウェーハを、LEVIウェーハグリッパーが、取り出します。LEVIウェーハグリッパーのパドルの上で、ウェーハを非接触浮上させながら搬送して、非接触チャックステージの上に置きます。
プロセスが終わると、再びLEVIウェーハグリッパーがウェーハをチャックステージから取り出します。
非接触チャックテーブル実機 動画
動画を解説：
実機の動画は、超音波で微振動する振動板が、エアフィルムを生成して、ウェーハを浮上させています。
ウェーハは、非常に高い高低差で浮上しています。目視ではウェーハの振動は見えません。
ご希望により、振動板に吸引機能を付けることができます。これにより、ウェーハは非接触浮上しながら、同時に 吸引することができます。
非接触で浮上するのに、エアーブローしているわけではありません。エア浮上式とは全く異なる原理で浮上しています。
非接触チャックテーブルのメリット
◆薄く繊細なウェーハに加わる負荷を最小限にして非接触吸着！
◆ウェーハの表・裏 両面に触れずに固定！
◆ウェーハは、非常に高い高低差で浮上します。LEVIチャックで固定したまま検査する応用にも適しています。
◆チャックテーブルは、エアーブローしないので、パーティクル・微粒子を室内に飛散させません！
◆クリーンルームに適した非接触吸着技術です
◆ウェーハを安全に搬送し、ウェーハへ異物・コンタミを転写させて汚染するリスクが極めて低くなります。これにより、歩留まり向上に貢献します。
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