目次
CO2スノージェット洗浄装置とは
動画：CO2スノーでウェーハをドライ洗浄
CO2スノージェット洗浄装置の４つの洗浄効果
CO2スノージェット洗浄装置の機器構成
洗浄対象となる主な異物・コンタミ
洗浄対象となる主な基材
CO2スノージェット洗浄装置のメリット
関連情報
CO2スノージェット洗浄装置とは
CO2スノージェット洗浄装置は、特別に設計されたノズルから二酸化炭素の結晶(CO2スノー)を噴霧して、基材表面を洗浄する装置です。
噴霧した二酸化炭素の結晶(CO2スノー)は、基材表面で個体として留まることはありません。二酸化炭素は、大気圧(常温常圧)下で気体へ昇華します。
このため、洗浄後の基材表面に残留物を残さない洗浄を可能にします。
IPAや有機溶剤を使用しないので、環境負荷が低い洗浄技術です。
超音波洗浄や超純水のように、液体を使わないので、廃液処理や乾燥工程の削減につながります。
ノズルをロボットに持たせて運転することができ、自動洗浄ラインへの導入に最適です。
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動画：CO2スノーでウェーハをドライ洗浄
動画を解説：
半導体ウェーハに、油脂膜が付着しています。
ノズルからCO2スノーを噴霧すると、コンタミは瞬間的に除去されています。
洗浄後の表面は、ドライです。
ノズルの間欠運転が簡単に行われてます(パーツtoパーツの洗浄に最適)
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CO2スノージェット洗浄装置の４つの洗浄効果
◆衝撃洗浄
ノズルから噴霧した 微細な二酸化炭素の結晶（CO2スノー）は、ノズルから同時に圧縮エアーをブローすることで 超音速に加速して基材に衝突します。。
CO2スノーが表面に到達する衝撃で、基材表面の異物・コンタミを洗浄します。二酸化炭素の結晶は、ノズルから放出されると たちまち気体に昇華しようとするため、衝突の衝撃力は最小限です。
これは、ビーズ・砂を基材にぶつける ショットブラスト・サンドブラストとの大きな違いです。
◆爆発洗浄
二酸化炭素の結晶（CO2スノー）は、ノズルから噴霧されると すぐに気体に昇華しようとし、体積が約600倍に膨張します。この爆発的な膨張エネルギーで表面の異物・コンタミを除去します。
◆脆化
CO2スノーは、-78.5℃と低温です。基材表面のフラックス・コンタミから熱を奪い、脆くして除去しやすくします。
◆溶剤効果
二酸化炭素の結晶の中には、衝突時の圧力が高いと瞬間的に液化することがあります。液体の二酸化炭素は、無極性溶媒のような溶剤効果があります。
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CO2スノージェット洗浄装置の機器構成
①コントローラ（バルブ・弁・レギュレータ・フィルター・制御用PLC）
②温調器
③ノズル
④ノズル⇔温調器⇔コントローラ間 液体CO2配送用 高圧チューブ
⑤ノズル⇔温調器⇔コントローラ間 圧縮エアー用高圧ホース
含まれてないもの：
ロボット（ノズル操作用）
液体二酸化炭素（サイホン式ボンベ または タンク）
コンプレッサー・圧縮エア（油分・水分を除去したドライエアー）
電源
二酸化炭素排出用ダクト・局所排気
二酸化炭素センサー
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洗浄対象となる主な異物・コンタミ
洗浄できる主な異物・コンタミの例を下記します。
◆微細なゴミ・ホコリ・粉塵・パーティクル
◆フィルム状のコンタミ（薄い油膜、薄い接着剤・粘着物の残渣など）
◆有機系異物（指紋・皮脂・毛髪など人に起因するものを含む）
◆無機系粉塵（微細な金属粉塵・樹脂の粉塵など）
◆レーザー溶接後、表面に残ったヒューム
◆純銅（スパッタリングターゲット）の酸化皮膜
◆フラックス
◆はんだ後の残留物(はんだボール等)
◆レーザー加工後の蒸散物(ヒューム・すす)
◆ウェーハ ダイシング後の微細な残渣
◆微細なバリ
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洗浄対象となる主な基材
洗浄できる主な基材の例を下記します。
◆半導体ウェーハ・チップ
◆プリント基板（接点・ボンディングパッド）
◆センサー(CMOSセンサー・圧力センサー等）
◆ガラス・レンズ
◆金属製品(ステンレス・アルミ・銅など)
◆樹脂成型品(バンパー等 自動車の内外装部品、コネクターケース・トレーなど)
◆医療用製品(ステンレス・PEEK材など)
◆金型
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CO2スノージェット洗浄装置のメリット
◆CO2スノーを狙いの個所に噴霧して、局所的な洗浄を可能にします。
◆ワークピースへのダメージは最小限
◆薄い油の皮膜・有機系異物の除去にも効果があります
◆薄い粘着質な異物の除去にも効果があります
◆早いタクトタイム・省スペース
◆間欠運転・ON/OFFを繰り返す運転・パーツtoパーツの洗浄用途に適しています
◆ロボットに持たせて洗浄工程を自動化したい用途に適しています
◆ウェット洗浄（超音波洗浄・有機溶剤など）のような廃液処理は不要です
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