写真1
非接触超音波 浮上・搬送装置の技術は、様々な雰囲気ガスの環境下で基板を非接触ハンドリングできます。基板表面とソノトロード（高周波振動することにより周囲のガスを圧縮拡散するパーツです）の振動面の間にガスフィルムを形成し、基盤は高さ50μm～500μmで浮上します（基板の重さや形状によります）。ガラス基板を、無振動・無摩擦でソノトロード表面で搬送することができ、搬送面は用途に応じて様々な長さ・幅で製作できます。
写真1は、ガラス基板を上面から非接触チャックするグリッパーです。ガラスを上面から非接触チャックする場合には、ソノトロード表面にガスフィルムによる反発力と同時に、ソノトロードから負圧を生成して低圧力で引き寄せることにより、基板を非接触で吸着する原理です。この技術により、ガラス基板上面に触れることなくピックアンドプレースに応用することができ、また強力なバキューム圧による吸着が不要なので、ガラス基板に不要な跡がついたり、接触による基板への傷や汚染物質の付着を回避することにつながります。
動画1をクリックしてYoutubeで、非接触超音波 浮上・搬送装置を搭載したロボットがガラス基板を非接触でピックアップする動画をご視聴頂けます。基材は、薄膜太陽電池用基板ガラスです。ロボットのハンドの部分には非接触超音波 浮上・搬送装置が搭載されており、非接触超音波 浮上・搬送装置とガラス基板の間は非接触です。端面には基板のすべり防止のためサイドストップをつけています。ガラス基板の上面下面は非接触で、ピックアンドプレースを行います。
写真2
写真2は、ソノトロードが非接触で基板ガラスを保持しています。黒いパーツが振動面で、振動面とガラスは非接触です。白い棒状の樹脂製品はサイドストップで横滑りを防止しています。ガラスの上下面は非接触です。
動画2
動画2をクリックしてYoutubeで、薄膜PV/FPD基板の検査工程に非接触超音波 浮上・搬送装置を導入した動画をご視聴頂けます（You tube 1:33～1:52）。ガラスはテーブル上のソノトロードの表面を非接触で浮上しており、高低差は非常に安定しています。高低差の精度は±5μmです。検査用照明を照射してもぼやけること無く、ガラス基板両面を同時に検査しています。（弊社ブログ”非接触超音波 浮上・搬送装置を検査工程へ応用”でも詳しく取り上げています）
非接触超音波 浮上・搬送装置の技術は、様々なサイズのガラス基板に適用することが出来ます。 G1（300mm x 400mm）～G11（3300mm x 3100mm）
薄膜大型基板ガラス（厚さ0,7mm）の場合、ハンドリングには非接触超音波 浮上・搬送装置のような特別な技術が必要です。
ストックからピックアップまたはプレースなど、大型ガラス基板を限られたスペースで適切にハンドリングする用途にも適しています。
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