高周波ACイオナイザで静電気対策！ │ 高周波ACイオナイザは、高いイオンバランスの除電器です。半導体ウェーハ・液晶パネル・電子部品・プリント基板のような、小さな電気にも脆弱な用途の専用イオナイザです。除電後の基材の極めて低い残留電圧を極めて低くする能力があります。スポットタイプとバータイプがあります。

2023/03/17

高周波ACイオナイザとは？

高周波ACイオナイザは、通常の交流タイプのACイオナイザと比べ、高いイオンバランスの除電器です。

イオンバランスの良し悪しは、除電器を通した後の、基材表面に残る静電気量に影響を及ぼします。

高周波ACイオナイザは、イオンバランスが優れているので、除電した後の静電気量は、0Vに極めて近くなります。

このページでご紹介します高周波ACイオナイザは、除電後の残留電圧を35V以下にすることができます。

※EC規格 61340-5-1 で定める残留電圧＜35Vに準拠

スポットタイプ「SIプレシジョン」を見る

バータイプ「プレシジョンバー」を見る

スポットタイプ「SIプレシジョン」

SIプレシジョンは、スポットタイプの高周波ACイオナイザです。

SIプレシジョンの外形図

運転距離は、20㎜～150㎜です。

スポットタイプ「SIプレシジョン」を見る

バータイプ「プレシジョンバー」を見る

プレシジョンバーは、バータイプの高周波ACイオナイザです。

SIプレシジョンの外形図

運転距離は、20㎜～200㎜です。

有効幅は、150㎜～1000㎜。50mm刻みで製作できます。

バータイプ「プレシジョンバー」を見る

主な用途

ワイヤーボンディング時のウェーハチップを除電

ウェーハの静電気除去

ICトレーの静電気除去

液晶部品の静電気除去

プリント基板の静電気除去

除塵装置に搭載する用途

Kist+Escherich製除塵装置に高周波ACイオナイザを搭載することができます。

高周波ACイオナイザから高イオンバランスで基材の静電気を中和して、微細なゴミ・ホコリ・異物を吸引除去します。

写真：高周波ACイオナイザを搭載したロータークリーン60型

ロータークリーンが、回転ブラシ＋エアーブロー用ノズル＋高周波ACイオナイザ＋異物吸引除去機能、を装備しています。

写真：高周波ACイオナイザを搭載したタイフンクリーン015型

タイフンクリーンが、パルスエアーブロー用回転ジェットノズル＋高周波ACイオナイザ＋異物吸引除去機能、を装備しています。

トレー・実装プリント基板・液晶を非接触でクリーニングします。