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【ガラス基板の表面接触ゼロ】擦り傷・コンタミ転写を根絶する、非接触吸着・搬送の最適解

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ウェーハを上から非接触で吸着

モノづくりにおいて「触れる」ことは、常にリスクと隣り合わせです。

特にガラス基板のハンドリングにおいて、物理的な接触は擦り傷(スクラッチ)やコンタミ転写の温床。 「いかに丁寧に触れるか」を考えてきた時代は、もう終わりました。 これからは、**「いかに触れずに、完璧に制御するか」**の時代です。

ドイツのテック企業 ZS-Handling が提供する非接触吸着技術は、まさにその最適解といえます。




超音波による「スクラッチ・フリー」の実現

 
ZS-Handlingのコア技術は、超音波による空気層の制御です。 基板とハンドの間にミクロン単位の「空気のクッション」を生成し、上から吊り下げるようにホールドします。 物理的に接触しないため、機械的な擦り傷が発生する余地はありません。 繊細な薄板ガラスや、コーティング済みの基板を扱う現場にとって、これ以上の安心感はないはずです。




クリーンルームの常識を変える「気流制御」



非接触搬送と聞いて、エアを大量に吹き出すイメージを持つ方もいるかもしれません。しかし、それではクリーンルーム内の微細なホコリを飛散させてしまいます。 ZS-Handlingのデバイスは、周囲の環境を乱さない精密な気流設計がなされています。 「搬送物の清浄度を保つ」だけでなく、「現場の環境品質を下げない」という二段構えの思想が、ドイツらしい質実剛健な専門性を物語っています。





清浄度を「そのまま」次工程へ


洗浄後の最もデリケートな状態にあるガラスを、いかに「汚さず」運ぶか。
ZS-Handlingなら、接触によるパーティクルの付着や転写リスクを根本から排除できます。
搬送を「ただの移動」ではなく、**「清浄度を維持するためのプロセス」**へと昇華させることが可能です。





商社としての視点

 

私たち日本の商社がこの技術を推す理由は、その「圧倒的な歩留まり改善ポテンシャル」にあります。 表面品質に妥協できない次世代ディスプレイや半導体関連のプロセスにおいて、ZS-Handlingはゲームチェンジャーになる。そう確信しています。

「非接触で、ここまでできるのか?」 その驚きを、ぜひ貴社のラインでも体感してください。


動画:ガラス基板 非接触浮上・非接触吸着





超音波 非接触 吸着のメリット



◆繊細なICチップ・ダイガラス基板に加わる負荷を最小限で非接触吸着!

ガラス基板の表・裏 両面に触れずにチャック!

ガラス基板への 擦り傷・吸着痕・スクラッチを回避!

◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが無い

エアーブローしないので、パーティクル・微粒子を室内に飛散させません!

ガラス基板の清浄度を保持して、移載・ピックアンドプレースするのに最適化したグリッパー

◆クリーンルームに適した非接触吸着技術です

◆ロボットに持たせて自動運転に最適化します。




 

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