ウェーハに吸着痕を残さない！変形させない！擦り傷・破損させない！
究極の非接触ハンドリング技術があります
目次
超音波を適用した非接触吸着技術
動画:ウェーハキャリアからピックアップ
vs ベルヌーイチャックとの違いを比較
機器のユーティリティ・遠隔信号
超音波非接触吸着のメリット
関連情報
超音波を適用した非接触吸着技術
ドイツZS-Handling社が設計した非接触吸着技術です。
グリッパーの吸着面には、ウェーハを吸引(バキューム)するための穴が開いており、吸引力で吸着します。
グリッパーの吸着面は、装置をＯＮにすると 超音波で微振動します。
この振動は、ウェーハと吸着面の間の空気を加圧して、エアフィルムを形成します(スクイーズ膜効果)。
この原理で、グリッパーをウェーハの上面に近づけて、上面に触らずに、ピックアップする事ができます。
写真：300mmウェーハを非接触吸着
LEVIウェーハグリッパーは、ウェーハを安全に搬送するグリッパーです。ウェーハへ異物・コンタミを転写させて汚染するリスクが極めて低くなります。これにより、歩留まり向上に貢献します。
LEVIウェーハグリッパーをみる
動画:ウェーハキャリアからピックアップ
ウェーハキャリア(ウェハホルダ)の孔(窪み)から、非接触でピックアップします。窪みは深さがありますが、グリッパーは ウェーハの上(若干距離がある位置)から吸引力でウェーハを引き寄せ 吸着します。
グリッパー表面は、超音波が起こす振動によりエアフィルムを形成し これがウェ―ハを押し返す反発力になります。
このように、「吸引」＋「反発力」を併用して、非接触チャックを可能にします。
※ウェーハ表面は、水・水滴がない乾いた表面です
LEVIウェーハグリッパーをみる
vs ベルヌーイチャックとの違いを比較
吸引力と超音波を併用した吸着技術は、ベルヌーイチャックと大きく異なります。
◆LEVIウェーハグリッパーは、エアーブローしない。
ベルヌーイチャックは、圧縮空気を旋回流のように吹き出しながら真空を生成します。
このため、ノズルからは圧縮エアーブローしています。
クリーンルーム内でエアーを吹き出すことは、室内に浮遊している微細なパーティクルを飛散させたり、クリーンルームの設計気流をかき乱す可能性があり、クリーンルームへ導入する時には注意する必要があります。
一方、吸引力と超音波を併用した吸着技術LEVIウェーハグリッパーは、ノズルも無ければ、エアーブローもしません。パーティクルの飛散させず、クリーンルームの設計気流やダウンフローの気流に悪さすることはありません。
また、
◆LEVIウェーハグリッパーは、エアーからの汚染リスクが極めて低い
LEVIウェーハグリッパーは、圧縮エアーをブローしないため、吹き出すエアーからの汚染リスクがありません。これは、わずかな微粒子の付着も避けたい半導体チップ製造プロセスでは大きなメリットです。
◆LEVIウェーハグリッパーは、擦り傷・吸着痕が残るリスクが極めて低い
LEVIウェーハグリッパーは、ウェーハに加わる力を最小限にしながら ウェーハを上から非接触でピックアップ・搬送することが出来ます。擦り傷・吸着痕を残すリスクが極めて低くなります。
これは、歩留まり低下要因を少しでも排除したい半導体製造プロセスでは大きなメリットです。
機器のユーティリティ
電源は24VDCです。
グリッパーからエアーブローしないので、グリッパーへ圧縮エア接続は不要ですが、穴から吸引する陰圧を生成するためにエジェクターを使うことがあります。この場合は、エジェクターへ圧縮エア接続して 陰圧を生成する必要があります。
外部PLCとの信号通信にも対応します。遠隔 超音波ON/OFF、電源ON/OFF、システムエラー出力、超音波出力の強弱 等。シンプルな制御で装置を運転できます。吸引力の強弱は、外付けのエジェクターまたはエア用レギュレータで行います。吸引力のON/OFFは、外付けの電磁弁の開閉で制御して頂きます。
LEVIウェーハグリッパーをみる
非接触 非接触 吸着のメリット
◆薄く繊細なウェーハに加わる負荷を最小限で非接触吸着！
◆ウェーハの表・裏 両面に触れずにチャック！
◆ウェーハへの 擦り傷・吸着痕・スクラッチを回避！
◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが無い
◆エアーブローしないので、パーティクル・微粒子を室内に飛散させません！
◆ウェーハの清浄度を保持して、移載・ピックアンドプレースするのに最適化したグリッパー
◆クリーンルームに適した非接触吸着技術です
◆ロボットに持たせて自動運転に最適化します。
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