目次
ソーラーウェーハの上から非接触チャックする原理
LEVIソーラーグリッパーはソーラーウェーハ専用のエンドエフェクタ（ハンド）
LEVIソーラーグリッパーで移載するメリット
吸着パッド・真空パッドとの比較
オプション品：エアーソード
ソーラーウェーハを１枚づつ分離します
関連情報
ソーラーウェーハの上から非接触チャックする原理
カセットやトレーに置いてあるソーラーウェーハ（太陽電池セル）に、ハンド（LEVIソーラーグリッパー）を上から近づけて 非接触吸着する使い方があります。
ハンドのチャック面は、ソノトロードという呼称の振動板で、超音波で微振動させています。
振動板とソーラーウェーハの間には、スクイーズ膜効果で圧縮された空気膜を形成します。これが、ソーラーウェーハに対する反発力になります。
そして、チャック面の振動板には、吸着用の穴があります。振動板は、ソーラーウェーハの上から吸引力で吸着すると同時に、スクイーズ膜効果の反発力でソーラーウェーハを振動板にくっつけずに、非接触で把持します。
ソーラーウェーハの上からハンドで非接触吸着しても、ウェーハは非常に安定した状態で把持することができます。トレーやカセットから移載する用途に応用することができます。
ソーラーウェーハを非接触把持するのに、エアーブローや窒素ガスでブローさせる必要はありません。生産環境中の空気やガスだけを用いてソーラーウェーハを非接触でチャックします。
スクイーズ膜効果の反発力と吸引力で把持されたソーラーウェーハは、高低差が非常に安定しています。薄く 割れやすいウェーハにかかる負荷を最小限にして移載することができます。
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LEVIソーラーグリッパーは
ソーラーウェーハ専用のエンドエフェクタ（ハンド）
LEVIソーラーグリッパーは、ソーラーウェーハ専用のエンドエフェクタ（ハンド）です。
ソーラーウェーハ（太陽電池セル）は、サイズ M2/M2+のシリコンウェーハが対象です。
写真：LEVIソーラーグリッパー
写真：LEVIソーラーグリッパーのセット
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LEVIソーラーグリッパーで移載するメリット
◆ソーラーウェーハを非接触チャックして傷やマイクロクラックを防止！
◆ソーラーウェーハを非接触チャックして異物・コンタミの付着を防止！
◆吸着力をウェーハ表面で分散し、ウェーハに加わる負荷が最小限！
◆ソーラーウェーハへ吸着痕を回避！
◆高い位置決め精度
◆歩留まり向上
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吸着パッド・真空パッドとの比較
吸着パッド・真空パッドは、簡易的なチャック方式です。安価なので導入しやすい吸盤です。接触式なので、チャックする基材に・跡がつく・偏った力が加わる・基材へのダメーが大きいという特徴があります。パッドとの接触により、異物付着の可能性が大きく、歩留まり低減の可能性があります。
下記は、超音波非接触チャックとの比較表です
| 超音波 非接触 チャック |
真空パッド 吸着パッド |
|||||||
| 接触 or 非接触 | 非接触 | 接触 | ||||||
| ソーラーウェーハ へのダメージ |
小 | 大 | ||||||
| ソーラーウェーハ への負荷 |
小 | 大 | ||||||
| 吸着痕のリスク | 小 | 大 | ||||||
| 異物転写 リスク |
小 | 大 | ||||||
| クリーン環境 の適合性 |
〇 | △ | ||||||
| 歩留まり | 〇 | △ |
オプション品：エアーソード
ソーラーウェーハを１枚づつ分離します
重ねてあるソーラーウェーハ（太陽電池セル）を上からハンドで取りに行くとき、２枚取りしないよう注意が必要です。
エアーソードは、ソーラーウェーハを分離して、１枚づつチャックするのをサポートします。
写真：エアーソードが上のソーラーウェーハを分離しています
動画：エアーソードが上のソーラーウェーハを分離します
エアーソードで重ねたウェーハを１枚づつ分離して、LEVIソーラーグリッパーで１枚づつチャックして移載する使い方があります。
ソーラーウェーハの２枚取りを回避して、歩留まり向上につなげます。
写真：エアーソードとLEVIソーラーウェーハ
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