ウェーハチップを触らず・傷つけず・清浄度の保持しつつ・落下させず・破損させず・
ピックアンドプレースしたい！フリップしたい！
目次
チップ・ダイに触れずに移載できれば大きなメリットになる！
ベルヌーイチャックに問題はないのか？
超音波を適用した非接触吸着技術は様々な問題を解決します
機器のユーティリティ
超音波非接触吸着のメリット
関連情報
チップ・ダイに触れずに移載できれば大きなメリットになる！
ウェーハをダイシングした後の薄く 小片化したチップ。これを、ピックアップしたり、搬送したり、受け渡したり という動作をするためには 最新の注意が払われています。
ダイシングテープからピックアップする時、チップに偏った力が加われば、割れやすいチップは破損するリスクがあります。
また、チップに接触して 吸着ピックアップすると、チップに吸着痕がついたり 擦り傷がつく可能性があります。
そして、チップが何かに触れるとこで、接触部からの微細なパーティクル・微粒子がチップに転写して 汚染させるリスクがあります。
このように、チップに「触る」ことは、いろいろな問題を引き起こす可能性があります。
もし、チップに触らずにピックアップしたり 移載することが出来れば、「接触」に伴う問題を排除できる可能性があるため、「非接触」搬送技術が注目を集めています。
マイクロLEVIグリッパーをみる
ベルヌーイチャックに問題はないのか？
「ベルヌーイチャック」という非接触吸着技術があります。
ノズルから圧縮空気を噴射して、ベルヌーイの原理とサイクロン効果を併用することで、ワークピースを上から触らずにピックアップする技術です。
ベルヌーイチャックをチップ・ダイの移載に応用する場合には、
ベルヌーイチャックは、ノズルから圧縮空気を旋回流状に高速で吹き出すことで、真空を生成する原理ですが、原理的に圧縮空気を周辺に吹き出すことで、「飛散」の原因になる問題があります。
半導体製造工場の多くはクリーンルームです。クリーンルームの室内には、設計気流があります。ベルヌーイチャックのノズルから噴霧するエアーブローは、クリーンルームの設計気流を破壊する可能性があります。導入の際には、クリーンルームとの適合性に注意して敷設する必要があります。
また、チップに部分的に局所的な力が加わるので、チップに吸着痕がつく問題や、チップの破損という問題が残されていることです。
マイクロLEVIグリッパーをみる
超音波を適用した非接触吸着技術は様々な問題を解決します
ドイツZS-Handlingが設計・製作した、マイクロLEVIグリッパーという装置があります。
薄く 繊細なウェーハチップに対して、触らずに・優しく・傷つけず・破損を回避して・清浄度を保持しながら、移載 ピックアンドプレースするための技術です。
マイクロLEVIグリッパーには、次のような特徴があります。
＜触らない＞ チップ・ダイに触らずにピックアップして、ピックアンドプレース・フリップする動作をすることが出来ます。
＜優しい＞ チップ・ダイに加わる力を最小限にして吸着します。
＜傷つけない＞ チップ・ダイに対して「非接触」でハンドリングします。「接触」に起因する擦り傷・スクラッチのリスクを回避します。
＜破損を回避＞ 「非接触」でハンドリングするので「接触」に起因する擦り傷・スクラッチのリスクを回避します。
＜エアーブローしない＞ ベルヌーイチャックのような”ノズル”も無ければ、旋回流エアーを吹き出すこともありません。エアーからの汚染源でチップを汚染するリスクを無くします。
マイクロLEVIグリッパーをみる
機器のユーティリティ
電源は24VDCです。
グリッパーからエアーブローしないので、グリッパーへ圧縮エア接続は不要ですが、穴から吸引する陰圧を生成するためにエジェクターを使うことがあります。この場合は、エジェクターへ圧縮エア接続して 陰圧を生成する必要があります。
外部PLCとの信号通信にも対応します。遠隔 超音波ON/OFF、電源ON/OFF、システムエラー出力、超音波出力の強弱 等。シンプルな制御で装置を運転できます。吸引力の強弱は、外付けのエジェクターまたはエア用レギュレータで行います。吸引力のON/OFFは、外付けの電磁弁の開閉で制御します。
LEVIウェーハグリッパーをみる
超音波 非接触 吸着のメリット
◆薄く繊細なICチップ・ダイに加わる負荷を最小限で非接触吸着！
◆チップ・ダイの表・裏 両面に触れずにチャック！
◆チップ・ダイへの 擦り傷・吸着痕・スクラッチを回避！
◆エアーブローしないのでエア汚染のリスクが無い
◆エアーブローしないので、パーティクル・微粒子を室内に飛散させません！
◆チップ・ダイの清浄度を保持して、移載・ピックアンドプレースするのに最適化したグリッパー
◆クリーンルームに適した非接触吸着技術です
◆ロボットに持たせて自動運転に最適化します。
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