目次
パネル・ガラス基板の製造工程での異物の問題
スタティックエアを設置（画像付）
集塵機の選択
スタティックエアのメリット
関連情報
パネル・ガラス基板の製造工程での異物の問題
パネル・ガラス基板の製造工程で、静電気によって微細なゴミ・ホコリが表面に付着することがあります。
付着した塵埃は、次工程に持ち込まれると様々な問題を引き起こす原因になります。
ウェブクリーナー スタティックエアを設置して、パネルやガラス基板のコンベヤ搬送工程に設置して、インラインで表面のコンタミを吸引除去する使い方があります。
そして、きれいになったパネル・ガラス基板を次工程へ搬送して、不良低減・歩留まり向上につなげます。
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スタティックエアを設置（画像付）
下図は、スタティックエア013型をパネルのコンベヤ搬送工程に設置した画像です。
①スタティックエア013型
スタティクエア013型は、静電気除去バー＋エアーブロー用ノズル＋吸引チャネル、を搭載した非接触式ウェブクリーナーです。
◆フラットジェットノズル搭載
ノズルからエアーブローが、パネル表面の静電気を除去しながら、付着異物を吸引部へ送ります。
◆吸引チャネル
バキュームして、異物を吸引します。
◆イオナイザ・静電気除去バー（次の2種から選択できます）
A. パルスDCイオナイザ スマートイオン070型
強い静電気を帯びたパネルをしっかり除電します。
B.高周波ACイオナイザ プレシジョンバー
高いイオンバランスで静電気量を極めてゼロに近づけます。
②ダクトホース
吸引チャネルでバキュームした異物はダクトホースを通ります。そして、集塵機に設置したフィルターで捕集します。
③ワークピース
ガラス基板・パネル
④コンベヤ搬送
既存のコンベヤ搬送に後付け、または ライン新設時にスタティックエアを一緒に設置します。
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集塵機の選択
スタティックエアには、ダクトホースを介して集塵機に接続して使用します。
集塵機は、大きく次の３つの中から選定してご提案いたします。
①一般環境用集塵機
捕集効率が高い高機能フィルターを搭載した集塵機です
②クリーンルーム用集塵機
捕集効率が高い高機能フィルターと、排気側（モーターファンの後部）にHEPAフィルターを設置した集塵機です
③クリーンルーム専用高機能集塵機CRシリーズ
捕集効率が高い高機能フィルターと、排気側（モーターファンの後部）にHEPAフィルターを設置した集塵機です。
◆クリーンルームの中でフィルター交換してもパーティクルを飛散させないし機能を装備
◆フィルター設置後、フィルターがリークタイトが確認して 漏れ確認ができる機能を装備
◆クリーンルームに適したノイズ低減ファンを装備
クリーンルーム専用集塵機 CRシリーズをみる
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スタティックエアのメリット
◆スタティックエアのコンパクトなボディに「エアーブローノズル＋静電気除去バー＋吸引チャネル」を装備！
◆既存のラインに後後付けしやすいコンパクトなクリーニングヘッド
◆強く静電気を帯びたガラス基板・パネルに対して、パルスDCイオナイザ スマートイオンでしっかり除電します！
◆わずかな電気に脆弱な液晶パネル・電子部品をクリーニングする用途では、高周波ACイオナイザ プレシジョンバーで静電気量をゼロに近づけます！
◆パーティクルを飛散させずに吸引除去してフィルターを捕集！
◆超音波エアー式クリーナーと比べ、設備価格が魅力的！
◆粘着ロール式のように基材に接触しません
◆生産環境へ異物を飛散させず、再付着を防止！
◆日常メンテナンスは簡単！
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