目次
FOUPの役割と清浄度の重要性
CO2スノージェット洗浄装置の洗浄原理
動画：CO2スノージェット洗浄装置でFOUPをドライ洗浄
CO2スノージェット洗浄装置のメリット
関連情報
FOUPの役割と清浄度の重要性
FOUPは、Front-Opening Unified Podの略です。FOUPは、半導体製造プロセスで、ウェーハを搬送・保管するために使用される密閉型容器です。
半導体製造工程では、 ウェーハに微細なパーティクル・微粒子が付着するだけで、不良になる可能性があります。これは、不良率の増加・歩留まり低減につながる重要な問題です。ウェーハの清浄度は、良品率・歩留まりに直結する重要な問題です。
その ウェーハを収納するFOUPが もし微粒子で汚染されていたら、そこにウェーハを保管した時に、微粒子が動いて ウェーハに転写する可能性があります。ウェーハを収納するFOUPからの汚染を防止するために、FOUPの清浄度は重要です。
CO2スノージェット洗浄装置の洗浄原理
CO2スノージェット洗浄装置は、特別に設計された2層ノズルから 小さなドライアイス(CO2スノー)を噴霧して、異物・コンタミを乾式洗浄する用途があります。
単に、クリーンエアーや窒素ブローの圧力で吹き飛ばすのとは、全く異なる原理でパーティクルを除去することができます。
◆CO2スノージェット洗浄装置が コンタミ・パーティクルを洗浄する４つの原理
「衝撃洗浄」：ノズルから噴霧したCO2スノーがコンタミ・異物に対して、物理的に衝突する力で洗浄
「脆化」：CO2スノーがコンタミを冷やして 脆くして 除去しやすくする効果
「爆発洗浄」：個体の二酸化炭素の結晶が、気体に昇華する時に 爆発的に膨張する力で除去
「溶剤効果」：基材表面に衝突時に瞬間的に液化した二酸化炭素がコンタミに溶け込み洗浄する力
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動画:CO2スノージェット洗浄装置でFOUPをドライ洗浄
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CO2スノージェット洗浄装置のメリット
◆ドライ(乾式)洗浄です
◆ウェット洗浄(超音波洗浄)のような廃液処理・乾燥は不要です
◆IPA・有機溶剤を使わないドライ洗浄技術です
◆薄い油の皮膜・有機系異物の除去にも効果があります
◆薄い粘着質な異物の除去にも効果があります
◆CO2スノーで、局所的な洗浄が可能(マスキングを不要にする)
◆間欠運転・ON/OFFを繰り返す運転・パーツtoパーツの洗浄用途に適しています
◆ロボットに持たせて洗浄工程を自動化したい用途に適しています
◆基材へのダメージは最小限
◆早いタクトタイム・省スペース
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